진공 압력 측정은 품질과 안전을 포함한 모든 진공 애플리케이션에서 광범위하고 중요한 역할을 한다. 진공 압력을 측정할 때, 대기압에서 10^-12mbar의 극고진공까지 정확하게 반응하는 범용 진공 게이지가 없다는 점을 염두에 두어야 한다. 따라서 정확한 선택을 위해서는 용도와 필요에 따른 진공압력 측정을 이해하는 것이 중요하다. 구성 재료, 측정 방법(직접 및 간접), 전자 기기 등이 중요한 고려 요소이며, 이들 모두 각 게이지 유형의 한계에 기여한다. 또한 방사선, 자기장, 온도 및 부식성 대기 등 게이지가 위치한 환경에 따라서도 적합한 유형이 선택될 수 있다. 선정기준 진공 게이지 선택 시 고려해야 할 주요 기준은 다음과 같다. 1. 압력 범위: 압력 범위에 따라 다른 게이지를 사용해야 하므로 측정하..

CF Flange는 원래는 ConFlat라고 부르는데 Varian, Inc.의 등록상표이므로 일반적 “CF”를 사용한다. 암수 구분이 없고 동일한 형상의 플랜지가 결합하여 밀봉이 된다. 일반적인 플랜지의 재료는 304L, 316L, 316LN과 같은 오스테나이트계 스테인레스인데 표면이 경화 처리된 알루미늄으로 제작되는 경우도 있다. 연질의 금속이 가스켓으로 사용되는데 주로 무산소동(OFHC)가 많이 사용된다. CF 씰은 대기압에서

진공용기에 누설(Leak)이 있는 경우 원하는 진공도를 얻을 수가 없으며 제품에 좋지 않은 영향을 미칠 수 있으므로 누설 검사를 하여 원인을 찾는다. 누설검사는 시간과 인력이 소요되므로 누설의 성질을 예측하여 그에 맞는 적합한 시험방법과 시험기기를 선택해야 한다. 누설은 다양한 방식으로 나타날 수 있으며 그 영향은 크기와 형태에 따라 다르다. 누설로 인해 서 기체는 한 지점에서 다른 지점으로 이동한다. 기체는 압축성이므로 기체압력은 운반기체 양에 영향을 미친다. 따라서 누설율이 항상 mbar * l/s 또는 이에 상응하는 단위로 표현이 된다. 진공을 취급하는 장치에서는 기체량을 압력과 부피의 곱으로 표시하므로 누설율은 [압력 x 부피] / [시간]으로 표시된다. 누출이 전혀 없는 진공시스템을 제작하는 것..

잔류기체분석기(RGA)는 일반적으로 진공 시스템의 공정 제어 및 오염 모니터링을 위해 설계된 작고 일반적으로 견고한 질량 분석기이다. 사중극자 기술을 활용하여 개방형 이온소스(OIS) 또는 폐쇄형 이온소스(CIS)를 활용하는 두 가지 방식이 있다. RGA는 연구실, 표면 과학 설정, 가속기, 주사 현미경 등과 같은 고진공 응용 분야에서 적용된다. RGA는 대부분의 경우 진공 품질을 모니터링하고 저압 가스에서 미세한 불순물을 감지하는데 사용된다. 환경. 이러한 불순물은 10^-15 Torr 수준까지 측정할 수 있으며 백그라운드 간섭이 없는 경우 ppm 미만의 검출 능력을 가진다. RGA는 일반적으로 헬륨, IPA 또는 기타 추적 분자를 사용하는 민감한 현장 누출 감지기로도 사용된다. 진공 시스템을 10^-..

다단계 루츠펌프는 두개 이상의 루츠를 직렬로 연결하여 루츠펌프의 압력차이 단점을 보완한 제품 입니다. 다단계 루츠펌프는 대기압에서 10-2 mbar 영역까지 배기가 가능하며, 무입자 배기가 요구되는 분야에서 스크롤펌프를 대안으로 적용되는 건식 배기 방식 입니다. 주로 분석기기, R&D, 첨단산업 분야의 건식, 청정 분야에서 사용 됩니다. 다단계 루츠 펌프의 장점은 부품 간의 접촉이 없기 때문에 마모가 발생되지 않으며 컴팩트 합니다. 따라서 회전자와 고정자 사이에 윤활제와 밀봉재가 필요하지 않아서 탄화수소 계열 기체의 역류를 방지할 수 있습니다. 그렇지만 제작이 어렵고 높은 서비스 비용이 발생됩다. 내부식성의 재료로 제작된 펌프는 반도체산업의 CVD 공정과 같이 부식성이 강한 응용분야에서도 사용 됩니다. ..

일반적으로 진공기술에서 압력 범위는 다음과 같이 정의된다. 저진공 (10^-3 ~ 1 mbar); 중진공 (1 ~ 10^-3 mbar); 고진공 (10^-3 ~ 10^-7 mbar); 초고진공 (10^-7 ~ 10^-12 mbar); 극초고진공 (10^-12 mbar 이하) (아래 그림 참조) 도달 진공도 외에도 다양한 펌프 기술의 성능한계를 고려하는 것 또한 중요하다. 진공 시스템의 크기에 따라 경제적 관점에서 적용가능한 펌프의 선택 범위를 축소시킬 것이다. 대부분 1차 진공 펌프 (주로 저진공 및 중간 진공 영역에서 작동)는 대기압력까지 배기가 되므로 독립적으로 작동될 수 있다. 2차 펌프 (일반적으로 고진공 및 초고진공 범위에서 작동)는 1차 펌프로 지속적으로 배기하거나 일정 진공 수준을 유지하기 ..

흔히 터보 펌프(Turbo pump)로 부른다. 매우 빠른 회전 로터 (일반적으로 24,000 ~ 90,000rpm)를 사용하여 작동하는 운동 장치이다. 샤프트에 로터/고정자 쌍으로 된 날개가 다수로 붙어 있어서 형태는 다중 블레이드 터빈과 유사하다. 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 안으로 들어오는 기체 분자를 쳐서 그 운동 방향을 폄프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 원리이다.터보펌프는 오일로터리 펌프나 드라이펌프와 같은 1차 펌프가 있어야 동작이 된다. 베어링의 종류에 따라 자기부상베어링, 기계식 베어링, 수동형 자기-기계식 혼합 베어링으로 구분된다. 주로 10^-3 ~ 10^-11 mbar 영역의 진공도 배기를 위해 사용되지만, 주로 주사전자현미경(scanning electron microscope..