진공시스템의 누설(Leak)

진공용기에 누설(Leak)이 있는 경우 원하는 진공도를 얻을 수가 없으며 제품에 좋지 않은 영향을 미칠 수 있으므로 누설 검사를 하여 원인을 찾는다. 누설검사는 시간과 인력이 소요되므로 누설의 성질을 예측하여 그에 맞는 적합한 시험방법과 시험기기를 선택해야 한다.

누설은 다양한 방식으로 나타날 수 있으며 그 영향은 크기와 형태에 따라 다르다. 누설로 인해 서 기체는 한 지점에서 다른 지점으로 이동한다. 기체는 압축성이므로 기체압력은 운반기체 양에 영향을 미친다. 따라서 누설율이 항상 mbar * l/s 또는 이에 상응하는 단위로 표현이 된다. 진공을 취급하는 장치에서는 기체량을 압력과 부피의 곱으로 표시하므로 누설율은 [압력 x 부피] / [시간]으로 표시된다.

누출이 전혀 없는 진공시스템을 제작하는 것은 사실상 불가능하므로 응용 분야에 따라 허용가능한 누설을 얻기 위해, 즉 최대한 누출을 방지하기 위해 노력해야 한다.

다음과 같은 여러 가지 이유로 누출방지가 필요하다.

• 작업자 안전 (예: 독성물질의 유출)
• 제품의 긴 수명 보장
• 진공도(압력)의 유지
• 제품의 안전 (예: 시스템에 유입되는 안전하지 않은 혼합물을 생성하는 기체를 차단)
• 환경 또는 품질 표준
• 공정 효율성

진공 누출을 감지하는 방법은 여러 가지가 있으며 아래 도식과 같다. 누출 감지 및 측정 방법은 요구되는  최소 감지 누출률에 따라 다르다. 누출률은 시간당 주어진 차압에서 누출을 통해 흐르는 가스의 양을 말한다.