진공 측정

진공게이지 선정기준

UHV System 2020. 11. 3. 11:28

진공 압력 측정은 품질과 안전을 포함한 모든 진공 애플리케이션에서 광범위하고 중요한 역할을 한다. 진공 압력을 측정할 , 대기압에서 10^-12mbar 극고진공까지 정확하게 반응하는 범용 진공 게이지가 없다는 점을 염두에 두어야 한다. 따라서 정확한 선택을 위해서는 용도와 필요에 따른 진공압력 측정을 이해하는 것이 중요하다. 구성 재료, 측정 방법(직접 간접), 전자 기기 등이 중요한 고려 요소이며, 이들 모두 게이지 유형의 한계에 기여한다. 또한 방사선, 자기장, 온도 부식성 대기 게이지가 위치한 환경에 따라서도 적합한 유형이 선택될 있다.

 

선정기준
진공 게이지 선택 시 고려해야 할 주요 기준은 다음과 같다.
1. 압력 범위: 압력 범위에 따라 다른 게이지를 사용해야 하므로 측정하려는 압력의 범위와 함께 허용되는 측정 불확도/요구 정확도 고려해야 한다.

2. 적용분야: 진공 게이지를 사용하는 특정 용도와 공정 조건을 고려해야 한다. 여기에는 다음이 포함된다.

  • a. 특수 작동 조건: 먼지 또는 증기, 진동, 기계적 충격, 강한 가스 흐름, 방사선, 자기장 등을 예로 들 수 있다. 어떤 측정기는 다른 측정기들보다 환경 조건에 더 민감한 경우도 있다.
    b. 온도: 일부 게이지는 온도 변화에 대해 매우 민감하므로 선택한 게이지가 고온 또는 저온 조건에 견딜 수 있는지 확인해야 한다. 필요한 경우 온도 변화의 정확도에 대한 영향도 고려되어야 한다.
    c. 가스:
    마지막으로, 시스템에 특수 가스가 포함된 경우 올바른 보정 계수를 사용하고 원치 않는 화학반응 또는 매체 호환성 문제를 방지하기 위해 이를 고려해야 한다.

3. 통신 및 제어: 측정기의 제어방식(예: 컨트롤러 유형, 케이블 길이), 필요한 인터페이스 유형(예: RS232, Profibus, Devicenet,…), 트리거 지점(설정 지점, 전환 지점) 여부 사용 등
4. 크기, 비용, 서비스 가능성

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