진공 압력 측정은 품질과 안전을 포함한 모든 진공 애플리케이션에서 광범위하고 중요한 역할을 한다. 진공 압력을 측정할 때, 대기압에서 10^-12mbar의 극고진공까지 정확하게 반응하는 범용 진공 게이지가 없다는 점을 염두에 두어야 한다. 따라서 정확한 선택을 위해서는 용도와 필요에 따른 진공압력 측정을 이해하는 것이 중요하다. 구성 재료, 측정 방법(직접 및 간접), 전자 기기 등이 중요한 고려 요소이며, 이들 모두 각 게이지 유형의 한계에 기여한다. 또한 방사선, 자기장, 온도 및 부식성 대기 등 게이지가 위치한 환경에 따라서도 적합한 유형이 선택될 수 있다.
선정기준
진공 게이지 선택 시 고려해야 할 주요 기준은 다음과 같다.
1. 압력 범위: 압력 범위에 따라 다른 게이지를 사용해야 하므로 측정하려는 압력의 범위와 함께 허용되는 측정 불확도/요구 정확도 고려해야 한다.
2. 적용분야: 진공 게이지를 사용하는 특정 용도와 공정 조건을 고려해야 한다. 여기에는 다음이 포함된다.
- a. 특수 작동 조건: 먼지 또는 증기, 진동, 기계적 충격, 강한 가스 흐름, 방사선, 자기장 등을 예로 들 수 있다. 어떤 측정기는 다른 측정기들보다 환경 조건에 더 민감한 경우도 있다.
b. 온도: 일부 게이지는 온도 변화에 대해 매우 민감하므로 선택한 게이지가 고온 또는 저온 조건에 견딜 수 있는지 확인해야 한다. 필요한 경우 온도 변화의 정확도에 대한 영향도 고려되어야 한다.
c. 가스: 마지막으로, 시스템에 특수 가스가 포함된 경우 올바른 보정 계수를 사용하고 원치 않는 화학반응 또는 매체 호환성 문제를 방지하기 위해 이를 고려해야 한다.
3. 통신 및 제어: 측정기의 제어방식(예: 컨트롤러 유형, 케이블 길이), 필요한 인터페이스 유형(예: RS232, Profibus, Devicenet,…), 트리거 지점(설정 지점, 전환 지점) 여부 사용 등
4. 크기, 비용, 서비스 가능성
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