가변 누출 밸브는 조정 가능한 누출을 설정하기 위해 모든 진공 시스템에 장착될 수 있습니다. 초당 1 x 10-10 Torr-litres만큼 작은 누설율의 제어 감도와 안정성을 제공합니다. 누설율 조정은 널링 노브로 제어됩니다. 구동 메커니즘을 포함한 전체 밸브는 열림 또는 닫힘 상태에서 450°C까지 베이크할 수 있습니다. 씰 메커니즘의 두 구성 요소(사파이어 어셈블리 및 개스킷 어셈블리)는 쉽게 교체할 수 있습니다.

전체 측정 범위에서 PBR 260 Compact FullRange™ BA 게이지는 연속적인 특성 곡선을 가지며 측정 신호는 압력의 로그로 출력됩니다. 게이지는 Bayard Alpert 열음극 이온화 측정 시스템 및 Pirani 측정 시스템과 함께 작동합니다. 정의된 중첩 압력 범위에서 두 측정 시스템의 혼합 신호가 출력됩니다. 그 범위 이상에서는 Pirani 신호, 그 범위 이하에서는 핫 캐소드 신호가 출력됩니다. Pirani 측정 시스템은 필라멘트 연소 및 과도한 오염을 방지하기 위해 열음극 측정 시스템을 켜고 끕니다. 2개의 켜기/끄기 범위를 사용할 수 있습니다.

P=nkT n 분자밀도 T 절대온도 위 식에 의하면 압력은 기체 분자의 밀도를 측정해도 알 수 있다. 그러나 실제로는 기체 분자의 밀도를 직접 측정할 수는 없으므로 전자를 기체 분자에 쏘아 기체 분자를 이온화시켜 양이온이 된 기체 분자의 개수를 이온 전류로써 측정한다. 이때의 이온 전류가 기체 분자밀도에 비례함을 이용하여 압력을 측정한다. 이런 방식으로 압력을 재는 진공게이지를 이온화 게이지라고 한다. 이온화 게이지는 고/초고진공영역에서 우리에게 가장 친숙한 전압게이지이다. 그러나 이 진공게이지는 수동게이지가 아닌 만큼 결코 이상적인 게이지가 될 수 없다. 이온화 게이지는 기체의 해리와 탈착, 자체 배기작용, 필라멘트상에서의 화학 반응 등을 통하여 자신이 측정하고자 하는 주위 환경을 지속적으로 해치기 때..

알루미늄은 주로 저진공 및 고진공 범위에서 사용되며 일반적으로 합금으로 사용되며 특별한 경우에는 순수한 알루미늄으로도 사용됩니다. ISO-KF 파이프와 같은 구성 요소는 종종 플랜지 면이 재작업된 주조 알루미늄 합금으로 만들어집니다. 재료를 선택할 때 수축과 다공성을 고려해야 합니다. 씰링 링을 센터링하고 지지하는 경우, 부품은 바 스톡으로 만들어집니다. 프로파일 씰 또는 와이어 형태의 금속 씰의 경우 어닐링 된 알루미늄 - 실리콘 합금이 바람직합니다. 알루미늄의 증기압은 낮으며 약 6 · 10-9 660°C의 융점에서 hPa. 큰 열팽창, 높은 열전도율 및 안정적인 산화 알루미늄 층은 알루미늄을 용접하기가 어렵습니다. 기공과 균열이 형성 될 위험이 있으며 큰 왜곡과 결합됩니다. 용접 전에 균일 한 가열..

구리 -- 스테인리스강 CF 플랜지에 일반적으로 적용되는 가스켓은 고순도 무산소동(OFHC)구리를 펀칭하여 제작합니다. 그리고 가스켓을 화학적으로 세척하고 가공하여 긁힘과 버를 최소화합니다. 실버 & 골드 도금 구리 -- 고온 베이크아웃이 자주 필요한 시스템의 경우 은 또는 금으로 도금된 구리 개스킷을 사용하는 것이 좋습니다. 알루미늄(1100-H14) -- 알루미늄 CF 플랜지는 구리가 아닌 알루미늄 개스킷을 사용해야 합니다. 그러나 베이킹이 200 ℃로 제한하는 경우 알루미늄 개스킷을 스테인레스 스틸 CF 플랜지에 사용할 수 있습니다. 불화탄소수지 -- 평평한 단면을 가진 불화탄소수지 개스킷은 진공도가 중요하지 않은 응용 제품, 특히 빈번한 재조립이 필요한 응용 제품에서 편리하고 재사용할 수 있습니다..

ISO 플랜지(Large ISO라고도 함 )는 성별이없는 디자인이며 304L 스테인리스 또는 알루미늄으로 만들어집니다. ISO 및 KF 씰의 설계 원리는 동일합니다. 각 플랜지면은 카운터 보어 또는 홈이있어 OD 주위에 탄성 오링이있는 금속 센터링 링을 수용합니다. KF와 마찬가지로 ISO 센터링 링은 플랜지를 정렬하고 오링을 제자리에 고정합니다. 그러나 더 큰 직경의 ISO 오링은 "롤오프"될 가능성이 더 높기 때문에 스프링 장착 리테이너가 외부에 고정합니다. ISO 플랜지는 (O- 링의 특성에 따라) 사용온도가 0 °C ~ 120-180 °C이고 대기압에서 ~ 10^-8 Torr 또는 mbar 까지의 압력을 사용하는 용도로 제한됩니다 . ISO 플랜지는 플랜지에 용접 할 수있는 가장 큰 튜브의 공칭 ..

KF 플랜지(그림1)는 304L 또는 316L 스테인리스, 알루미늄 또는 황동으로 만들며 암수 구분이 없습니다. 씰은 플랜지를 정렬하면서 오링을 고정하는 역할을 하는 센터링 링에 장착된 고무/엘라스토머 오링입니다. 각 플랜지 뒷면은 모따기가 되어 있으며 윙 너트, 나비 나사, 볼트 또는 오버 센터 레버로 조이는 원주형의 클램프 (그림2) 로 결합됩니다 . KF 플랜지는 (오링의 특성에 따라) 사용온도가 0 °C ~ 120-180 °C이고 대기압에서 ~ 10 -8 Torr 또는 mbar 까지의 압력에서 사용됩니다 . KF(Klein Flansche)라는 이름은 ISO, DIN 및 Pneurop 표준 기관에서 채택했습니다. QF, NW, 때로는 DN이라고도합니다. 플랜지는 용접 할 수있는 가장 큰 공칭 ID..

Loadlock 챔버 시스템은 클린룸의 대기상태에서 공정 장치내의 밀폐된 진공 환경으로 웨이퍼를 이송하는 데 가장 효과적인 수단이다. 이러한 시스템의 작동 주기는 프로세스 챔버 안팎으로 웨이퍼를 이송하는데 필요한 밸브 및 도어 활성화의 자동 시퀀스를 사용한다. 작동 순서는 서로 다른 챔버 압력 설정 값과 챔버에 있는 하나 이상의 압력 센서의 판독값 사이의 일치를 사용하여 게이트된다. 로드락 작동은 공정 처리량 또는 웨이퍼 품질에 영향을 미치지 않아야 한다(즉, 추가 입자 오염 없어야 함). 로드 락 시스템 설계 및 기능에 대한 엔지니어링 개선은주기 시간 단축 및 또는 입자 이벤트 최소화에 중점을 둔다. 이러한 목표들 중 하나에 대한 가장 효과적인 해결책이 다른 목표들에 심각한 부정적인 영향을 미칠 수 있..

잔류 가스 분석기(RGA)는 일반적으로 질량 범위가 1 ~ 100 amu 또는 200 amu(원자 질량 단위)인 사중극자 질량 분광기의 종류에 사용되는 용어로, 고진공 및 초고진공에서 존재하는 기체를 분석하기 위해 사용된다. 질량이 200 amu를 초과하는 물질은 휘발성이 없으며, 저 분자량 화학 종의 분석에 연구용 질량 분석기의 고해상도가 필요하지 않다. 전반적으로 RGA는 진공 시스템에 영구적으로 부착할 수 있는 저렴한 기기이다. 진공의 목적은 공정이나 실험에 방해되는 분자를 제거하는 것이다. 전체 압력 저감은 항상 진공 시스템에서 관심이 되지만 작동 압력에서 산소, 물 및 탄화수소와 같은 특정 종의 존재가 실질적인 관심사가 된다. 전체 압력 진공 게이지만으로 진공 시스템을 작동할 때 전체 압력이 이..

"직접"게이지는 측정되는 가스의 조성과 관계없이 압력과 관련된 힘을 측정한다. "간접"게이지는 측정이 열전도도 또는 이온화 특성과 같은 압력 의존 속성을 측정하기 때문에 측정되는 가스 종류에 따라 다르다. 게이지 제조업체는 기술의 측정 범위 제약을 극복하기 위해 조합형 게이지를 출시한다. 예를 들어, Pirani-Penning 게이지 조합은 대기에서 10-10mbar까지 작동할 수 있다. 기계식 다이얼 게이지는 대기압에서 1mbar까지의 압력 범위에서 사용된다. 그러나 이러한 게이지는 제한된 정확도만 제공하며 설치된 지점에서만 직접 읽을 수 있다. 다이어프램 진공 게이지(피에조 센서 또는 정전 용량 센서)는 보다 정확한 측정을 얻고 판독 값을 원격으로 표시하는 데 사용된다. Pirani 열전도 게이지는 ..