흔히 터보 펌프(Turbo pump)로 부른다. 매우 빠른 회전 로터 (일반적으로 24,000 ~ 90,000rpm)를 사용하여 작동하는 운동 장치이다. 샤프트에 로터/고정자 쌍으로 된 날개가 다수로 붙어 있어서 형태는 다중 블레이드 터빈과 유사하다.
고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 안으로 들어오는 기체 분자를 쳐서 그 운동 방향을 폄프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 원리이다.터보펌프는 오일로터리 펌프나 드라이펌프와 같은 1차 펌프가 있어야 동작이 된다. 베어링의 종류에 따라 자기부상베어링, 기계식 베어링, 수동형 자기-기계식 혼합 베어링으로 구분된다.
주로 10^-3 ~ 10^-11 mbar 영역의 진공도 배기를 위해 사용되지만, 주로 주사전자현미경(scanning electron microscope : SEM), 리소그래피(lithography) 장치와 같은 고진공 생성을 위해 사용된다.
터보펌프 제조사는 독일 파이퍼베큠, 레이볼드, 스웨덴 에드워드, 일본 시마츠 등이 있으며 국산화는 되지 못한 실정이다.
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