초고진공(UHV) 환경은 입자 가속기, 반도체 제조 및 최첨단 과학 연구에 필수적이며, 1 x 10¯6 torr 이하의 압력을 처리할 수 있는 고도로 전문화된 부품이 필요합니다. 이러한 극한 조건은 재료 방출, 윤활 제한 및 뛰어난 열 안정성과 재료 호환성의 필요성과 같은 고유한 도전을 제시합니다. 이러한 설정에서 사용되는 베어링은 진공 환경을 오염시키지 않고 신뢰할 수 있는 성능을 보장하기 위해 엄격한 표준을 충족해야 합니다. UHV 베어링의 주요 과제 재료 방출: 재료에서 갇힌 가스를 방출하는 방출은 원치 않는 입자를 도입하여 UHV 환경을 손상시킬 수 있습니다. UHV 시스템에서 사용되는 베어링은 방출을 최소화해야 하므로 재료 선택이 중요합니다.열 안정성 및 호환성: 오염 물질을 제거하기 위해 종종..

Macor® Ceramic은 가공이 쉬운 초고온 유리-운모 세라믹입니다. 다공성이 0이고 가스 방출이 없어 습기에 강합니다. 우수한 전기적 및 열적 저항이 필요한 곳에 사용됩니다. 색상은 흰색입니다. 바 또는 시트로 제공되며 진공 등급은 1x10-10 Torr, 온도 등급은 800°C입니다. MACOR® 가공 가능한 유리 세라믹은 광범위한 산업 응용 분야를 위한 기술 솔루션일 뿐만 아니라 주요 기술 혁신으 전 세계적으로 인정받고 있습니다. 다양한 적용분야에 가능성이 있는 MACOR®은 고성능 폴리머의 다용성과 테크니컬 세라믹의 성능을 동시에 제공하는 동시에 연질 금속의 기계 가공성을 제공합니다. 결과적으로 MACOR®은 기존의 금속 가공 도구를 사용하여 매우 복잡한 모양으로 신속하게 설계할 수 있는 뛰어..

시스템 내 가스 부하에 대한 기여요인은 크게 다섯 가지이며, 다음과 같습니다(그림 1 참조). 1. 초기 가스 모든 챔버는 초기에 대기압에 있으며, 필요한 압력에 도달하기 위해 밀폐된 가스를 펌핑해야 합니다. 이는 처음에는 가스 부하에 주로 기여하지만 가스의 양과 특성, 시스템 온도, 필요한 압력 및 펌핑 속도에만 의존합니다. 2. 공정 가스 부하 필요한 압력에 도달하면 때때로 추가 재료(일반적으로 가스)가 도입됩니다. 만약 존재한다면, 이것은 종종 가스 부하에 대한 지배적인 기여가 되지만, 가스 종류와 유량을 알 수 있을 것이다. 3. 누설 이상적인 시스템은 누출이 없지만 종종 실제 및 가상 누출이 존재하여 가스 부하를 증가시킬 수 있습니다. 실제 누출은 챔버 벽의 결함, 씰 등으로, 시스템 외부의 분..

알루미늄은 주로 저진공 및 고진공 범위에서 사용되며 일반적으로 합금으로 사용되며 특별한 경우에는 순수한 알루미늄으로도 사용됩니다. ISO-KF 파이프와 같은 구성 요소는 종종 플랜지 면이 재작업된 주조 알루미늄 합금으로 만들어집니다. 재료를 선택할 때 수축과 다공성을 고려해야 합니다. 씰링 링을 센터링하고 지지하는 경우, 부품은 바 스톡으로 만들어집니다. 프로파일 씰 또는 와이어 형태의 금속 씰의 경우 어닐링 된 알루미늄 - 실리콘 합금이 바람직합니다. 알루미늄의 증기압은 낮으며 약 6 · 10-9 660°C의 융점에서 hPa. 큰 열팽창, 높은 열전도율 및 안정적인 산화 알루미늄 층은 알루미늄을 용접하기가 어렵습니다. 기공과 균열이 형성 될 위험이 있으며 큰 왜곡과 결합됩니다. 용접 전에 균일 한 가열..