뷰포트(투과창이라고도 함)는 다음 용도로 사용됩니다. • 작업자가 공정을 볼 수 있도록 합니다(스퍼터 증착에서 플라즈마 개시 확인). • 특정 파장을 사용하여 화학적 또는 물리적 작용 시작(펄스 레이저 증착) • 공정에서 발생하는 방출을 측정합니다(광 방출 분광법). • 특정 파장의 영향을 모니터링합니다(엘립소메트리). 첫 번째 적용을 위한 광 디스크는 7056 또는 Kodial과 같은 상용 등급의 완전히 어닐링된 알칼리 붕규산 유리입니다. 다른 응용 분야의 경우 MgF2, 용융 실리카, 석영, 사파이어, 게르마늄 등의 특수 광학 연마 디스크가 사용됩니다. 일반적으로 관심 있는 파장에서 높은 투과율을 보이는 광학 소재를 선택하면 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 투과되지 않는 것은 반사되거나 흡수된다는 ..

씰의 분류 씰은 액체와 기체의 누출이나 외부로부터의 이물질의 유입을 방지하기 위해 사용되는 부품의 총칭입니다. 씰을 기능으로 크게 분류하면 운동용과 고정 용으로 나눌 수 있습니다. 운동 용 씰은 회전 또는 왕복 운동과 같은 운동 부분의 밀봉에 사용되는 실의 총칭으로 “패킹”이라고도 합니다. 한편, 고정 용 씰은 예를 들면 배관 플랜지와 같은 정지 부분의 밀봉에 사용되는 씰의 총칭으로 “가스켓”이라고 합니다. 운동 용 씰에는 다양한 종류가 있지만 진공 상태로 회전 도입에 사용하는 대표적인 씰은 자성 유체 씰 , 오일씰 (윌슨 실), 오링 씰, 벨로우즈 씰, 마그넷 커플 링 씰 5 종류입니다. 각각 씰에 대한 원리 · 구조 · 특징 등의 자세한 정보는 대표적인 운동 용 진공 씰 을 참조하십시오. 자성유체씰오..

구리 -- 스테인리스강 CF 플랜지에 일반적으로 적용되는 가스켓은 고순도 무산소동(OFHC)구리를 펀칭하여 제작합니다. 그리고 가스켓을 화학적으로 세척하고 가공하여 긁힘과 버를 최소화합니다. 실버 & 골드 도금 구리 -- 고온 베이크아웃이 자주 필요한 시스템의 경우 은 또는 금으로 도금된 구리 개스킷을 사용하는 것이 좋습니다. 알루미늄(1100-H14) -- 알루미늄 CF 플랜지는 구리가 아닌 알루미늄 개스킷을 사용해야 합니다. 그러나 베이킹이 200 ℃로 제한하는 경우 알루미늄 개스킷을 스테인레스 스틸 CF 플랜지에 사용할 수 있습니다. 불화탄소수지 -- 평평한 단면을 가진 불화탄소수지 개스킷은 진공도가 중요하지 않은 응용 제품, 특히 빈번한 재조립이 필요한 응용 제품에서 편리하고 재사용할 수 있습니다..

ISO 플랜지(Large ISO라고도 함 )는 성별이없는 디자인이며 304L 스테인리스 또는 알루미늄으로 만들어집니다. ISO 및 KF 씰의 설계 원리는 동일합니다. 각 플랜지면은 카운터 보어 또는 홈이있어 OD 주위에 탄성 오링이있는 금속 센터링 링을 수용합니다. KF와 마찬가지로 ISO 센터링 링은 플랜지를 정렬하고 오링을 제자리에 고정합니다. 그러나 더 큰 직경의 ISO 오링은 "롤오프"될 가능성이 더 높기 때문에 스프링 장착 리테이너가 외부에 고정합니다. ISO 플랜지는 (O- 링의 특성에 따라) 사용온도가 0 °C ~ 120-180 °C이고 대기압에서 ~ 10^-8 Torr 또는 mbar 까지의 압력을 사용하는 용도로 제한됩니다 . ISO 플랜지는 플랜지에 용접 할 수있는 가장 큰 튜브의 공칭 ..

KF 플랜지(그림1)는 304L 또는 316L 스테인리스, 알루미늄 또는 황동으로 만들며 암수 구분이 없습니다. 씰은 플랜지를 정렬하면서 오링을 고정하는 역할을 하는 센터링 링에 장착된 고무/엘라스토머 오링입니다. 각 플랜지 뒷면은 모따기가 되어 있으며 윙 너트, 나비 나사, 볼트 또는 오버 센터 레버로 조이는 원주형의 클램프 (그림2) 로 결합됩니다 . KF 플랜지는 (오링의 특성에 따라) 사용온도가 0 °C ~ 120-180 °C이고 대기압에서 ~ 10 -8 Torr 또는 mbar 까지의 압력에서 사용됩니다 . KF(Klein Flansche)라는 이름은 ISO, DIN 및 Pneurop 표준 기관에서 채택했습니다. QF, NW, 때로는 DN이라고도합니다. 플랜지는 용접 할 수있는 가장 큰 공칭 ID..

CF Flange는 원래는 ConFlat라고 부르는데 Varian, Inc.의 등록상표이므로 일반적 “CF”를 사용한다. 암수 구분이 없고 동일한 형상의 플랜지가 결합하여 밀봉이 된다. 일반적인 플랜지의 재료는 304L, 316L, 316LN과 같은 오스테나이트계 스테인레스인데 표면이 경화 처리된 알루미늄으로 제작되는 경우도 있다. 연질의 금속이 가스켓으로 사용되는데 주로 무산소동(OFHC)가 많이 사용된다. CF 씰은 대기압에서