Macor® Ceramic은 가공이 쉬운 초고온 유리-운모 세라믹입니다. 다공성이 0이고 가스 방출이 없어 습기에 강합니다. 우수한 전기적 및 열적 저항이 필요한 곳에 사용됩니다. 색상은 흰색입니다. 바 또는 시트로 제공되며 진공 등급은 1x10-10 Torr, 온도 등급은 800°C입니다. MACOR® 가공 가능한 유리 세라믹은 광범위한 산업 응용 분야를 위한 기술 솔루션일 뿐만 아니라 주요 기술 혁신으 전 세계적으로 인정받고 있습니다. 다양한 적용분야에 가능성이 있는 MACOR®은 고성능 폴리머의 다용성과 테크니컬 세라믹의 성능을 동시에 제공하는 동시에 연질 금속의 기계 가공성을 제공합니다. 결과적으로 MACOR®은 기존의 금속 가공 도구를 사용하여 매우 복잡한 모양으로 신속하게 설계할 수 있는 뛰어..

1. 그라파이트 히터 고밀도 흑연은 진공 가열 소자에 적합합니다. 흑연 원소는 비활성도가 높고 뜨거워질수록 실제로 강도가 높아지는데, 팽창계수가 낮고 일정한 열 순환에 따른 열화에 강해 수명이 좋고 승온 속도가 비교적 빠릅니다. 그라파이트 히터는 최근까지 대부분의 증착 스테이지에서 사용되어 왔으며 MBE와 같은 UHV 응용 분야에서 여전히 강력한 성능을 제공하는 주요 엘리먼트 입니다. 그러나 그라파이트 히터는 고온에서 O2의 높은 분압이 존재할 때 산화되어 소모됩니다. Element Type Mass Air Inert Environment Corrosive Environment High Vacuum Ultra High Vacuum Graphite Low Not suitable 2100°C Yes 2100..

시스템 내 가스 부하에 대한 기여요인은 크게 다섯 가지이며, 다음과 같습니다(그림 1 참조). 1. 초기 가스 모든 챔버는 초기에 대기압에 있으며, 필요한 압력에 도달하기 위해 밀폐된 가스를 펌핑해야 합니다. 이는 처음에는 가스 부하에 주로 기여하지만 가스의 양과 특성, 시스템 온도, 필요한 압력 및 펌핑 속도에만 의존합니다. 2. 공정 가스 부하 필요한 압력에 도달하면 때때로 추가 재료(일반적으로 가스)가 도입됩니다. 만약 존재한다면, 이것은 종종 가스 부하에 대한 지배적인 기여가 되지만, 가스 종류와 유량을 알 수 있을 것이다. 3. 누설 이상적인 시스템은 누출이 없지만 종종 실제 및 가상 누출이 존재하여 가스 부하를 증가시킬 수 있습니다. 실제 누출은 챔버 벽의 결함, 씰 등으로, 시스템 외부의 분..

분자 빔 에피택시(MBE)는 초고진공(UHV)에서 단결정에 물질을 성장시킬 수 있는 원자 분해능을 갖춘 기술입니다. 좋은 에피택셜 품질을 위해서는 좋은 UHV (~1e-11 hPa) 조건과 RGA 분석이 필수적입니다. 오늘날 MBE는 반도체 장치의 생산에 널리 사용되고 있습니다. 그것은 또한 나노와 양자 기술을 위한 가장 중요한 기술 중 하나입니다. 작동 방식 고체 공급원 MBE에서 갈륨 및 비소와 같은 초순도 원소는 진공에서 열 증발됩니다(일반적으로 10-8 hPa ~ 2x10-5 hPa). 셀에서 나오는 원자 플럭스는 에피택셜 성장이 일어날 수 있는 웨이퍼에 도달합니다. 갈륨과 비소의 예에서는 단결정 갈륨 비소가 형성됩니다. 표면에 충돌하는 원자는 흡착, 이동 및 웨이퍼의 결정 격자에 통합됩니다. 또..

진공 시스템에서 가스 방출을 줄일 수 있는 네 가지 주요 방법이 있습니다. 세정 및 베이크아웃, 표면 처리, 패시베이션, 퍼징 및 채우기 등이 있습니다. 이 애플리케이션 노트에서는 이러한 각 방법에 대해 자세히 살펴보겠습니다. 1. 세정 및 베이킹 이러한 기술에는 짧은 시간이 소요되고 대부분 현장에서 개별 부품에 수행되는 비교적 간단한 방법이 포함됩니다. 거칠고 미세한 표면 오염에 효과적이며 기체 방출율을 50%에서 10배까지 줄일 수 있습니다. 낮은 탈기체 속도를 달성하고 UHV에 도달하려면 적절한 재료 준비가 필수적입니다. 기체방출율을 줄이기 위해 세척 후 베이크아웃 해야 합니다. 재료 준비가 시작되면 항목을 신중하게 취급하는 것이 중요합니다. 예를 들어 지문이 탈착되는데 며칠이 걸리는데 이와 같이하..

비증발성 게터(NEG) 펌프는 다공성 구조의 비증발성 소형 게터 재료로 작동합니다. 질소 또는 산소와 같은 반응성 가스 분자는 수소가 빠르게 확산되는 동안 게터 물질의 표면에 흡착합니다. 비활성기체(noble gas)이나 메탄은 NEG 물질에 의해 펌핑되지 않습니다. NEG 펌프에는 전기 히터가 포함되어 있습니다. 이 히터는 각 응용 프로그램 내에서 처음 설치 후 또는 포화 후 게터 재료를 가열하는 데 사용됩니다. 가열 단계는 표면에서 반응성 가스 화합물을 제거하고 게터 물질 내부에서 수소를 배출합니다. 가열 단계 사이에 펌프는 전기 에너지를 소비하지 않고 실온에서 작동합니다. UHV에서는 수소가 지배적인 역할을 하며 NEG 펌프는 이를 위한 펌프 속도가 특히 높습니다. 또 다른 큰 장점은 진동이 없다는..

용량성 측정이라는 용어는 플레이트 캐패시터가 다이어프램 뒤에 고정된 전극이 있는 다이어프램에 의해 생성된다는 것을 의미합니다. 이 캐패시터의 두 플레이트 사이 거리가 변경되면 캐패시턴스가 변경됩니다. 압력에 비례하는 이 변화는 해당 전기 측정 신호로 변환됩니다. 진공 기준 챔버는 압력 측정을 위한 기준 역할을 합니다. 캐패시턴스 게이지를 사용하면 10-5 mbar에서 대기압보다 훨씬 높은 압력까지 정확하게 측정할 수 있습니다. 따라서 서로 다른 두께의 다이어프램을 가진 다양한 캐패시턴스 게이지를 사용하여 감도를 측정해야 합니다. 이 비디오는 정전식 게이지의 작동 원리에 중점을 둡니다. 전체 압력 변화에 따라 게이지 내부의 다이어프램이 어떻게 움직이는지 볼 수 있습니다. 출처: 파이퍼베큠

자성유체 씰이란 무엇인가? 자성 유체 씰 은 액체나 기체의 누출을 방지하기 위해 사용되는 부품이며 하나의 씰 입니다. 자성 유체 씰은 “자성 유체”라는 자석 쪽으로 끌리는 이상한 액체 자기장으로 유지되는 성질을 이용하여 액체와 베어링을 같이 조합밀봉하여 제작한 회전용 씰 뉴-닛 입니다. 자성 유체의 성분과 재질에 대해 관심을 갖고 계신 고객은 자성 유체 란? 에 자세한 설명이 되어 있습니다. 씰 (밀봉유닛)에는 다양한 종류 · 특징 들이 있습니다. 씰의 분류에 대한 해설이 별도로 준비되어 있으므로 참조하십시오. Basic structure of a Rotary Feedthrough 자성 유체 씰의 기본 구조 자성 유체 씰은 회전축 (샤프트)와 폴 피스의 틈새에 자석에 의해 형성되는 자속 선을 따라 자성 ..

씰의 분류 씰은 액체와 기체의 누출이나 외부로부터의 이물질의 유입을 방지하기 위해 사용되는 부품의 총칭입니다. 씰을 기능으로 크게 분류하면 운동용과 고정 용으로 나눌 수 있습니다. 운동 용 씰은 회전 또는 왕복 운동과 같은 운동 부분의 밀봉에 사용되는 실의 총칭으로 “패킹”이라고도 합니다. 한편, 고정 용 씰은 예를 들면 배관 플랜지와 같은 정지 부분의 밀봉에 사용되는 씰의 총칭으로 “가스켓”이라고 합니다. 운동 용 씰에는 다양한 종류가 있지만 진공 상태로 회전 도입에 사용하는 대표적인 씰은 자성 유체 씰 , 오일씰 (윌슨 실), 오링 씰, 벨로우즈 씰, 마그넷 커플 링 씰 5 종류입니다. 각각 씰에 대한 원리 · 구조 · 특징 등의 자세한 정보는 대표적인 운동 용 진공 씰 을 참조하십시오. 자성유체씰오..

로터리 피드쓰루 (마그네틱 커플링 방식) 외부(공기측) 회전 링에는 다수의 스트립 자석(링의 중심선에 평행한 스트립)이 장착되어 있어 한 자석의 극이 바로 인접한 자석과 부호가 반대입니다. 이 외부 링은 스테인리스 스틸 진공 덮개를 통해 동일한 수의 스트립 자석이 있는 진공 측 링에 자기적으로 연결됩니다. 커플링은 내부 S극 위에 외부 N극을 배치합니다. 내부 자석 링은 2개의 (MoS2 함침) 볼 베어링에서 회전하는 샤프트에 고정됩니다. 기계적 커플링 및 일체형 구조가 없기 때문에 누설 가능성이 없습니다. 모든 구성 재질은 250°C까지 베이킹이 가능하여 고진공 및 UHV 호환이 가능한 회전식 드라이브입니다. 최대 전달 토크는 내부/외부 자석을 분리하는 힘에 의해 결정되며 더 큰 회전 드라이브의 경우 ..