잔류기체분석기(RGA)는 일반적으로 진공 시스템의 공정 제어 및 오염 모니터링을 위해 설계된 작고 일반적으로 견고한 질량 분석기이다. 사중극자 기술을 활용하여 개방형 이온소스(OIS) 또는 폐쇄형 이온소스(CIS)를 활용하는 두 가지 방식이 있다. RGA는 연구실, 표면 과학 설정, 가속기, 주사 현미경 등과 같은 고진공 응용 분야에서 적용된다. RGA는 대부분의 경우 진공 품질을 모니터링하고 저압 가스에서 미세한 불순물을 감지하는데 사용된다. 환경. 이러한 불순물은 10^-15 Torr 수준까지 측정할 수 있으며 백그라운드 간섭이 없는 경우 ppm 미만의 검출 능력을 가진다. RGA는 일반적으로 헬륨, IPA 또는 기타 추적 분자를 사용하는 민감한 현장 누출 감지기로도 사용된다. 진공 시스템을 10^-5 Torr 미만으로 배기하여 프로세스가 시작되기 전에 진공 기밀성과 진공 품질을 확인하는 방식으로 미세한 누설, 가상누설 및 기타 오염 물질을 감지할 수 있다.
잔류기체분석기 제조사는 독일 파이퍼베큠, 스위스 인피콘, 미국 SRS 등이 있으며 국내에서는 한국표준과학연구원의 박찬준 박사님이 국산화하여 개발 하였다.
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