이 글은 다양한 종류의 B-A 게이지, 작동 기본 원리, B-A 게이지의 구성 요소 및 탈기 기술에 대해 다룹니다.베이어드-알퍼트 이온화 게이지 소개 베이어드-알퍼트 진공 게이지는 게이지 내의 가스 분자를 이온화하고, 이온 수집기 와이어에 이온을 모아 이온 수집기로의 전류를 측정하여 존재하는 분자의 수를 결정하고 이 측정 값을 바탕으로 압력을 나타냅니다. 베이어드-알퍼트 게이지는 1950년에 R.T. Bayard와 D. Alpert에 의해 발명되었습니다. 이 발명은 트라이오드 게이지의 진공 압력 측정 한계를 극복하기 위해 고안되었습니다. 트라이오드 게이지는 전자가 그리드에 충돌하면 저에너지 X선이 발생하여 이온 수집기에 충돌할 때 광전자를 방출하므로 10-8 Torr보다 낮은 압력을 측정할 수 없습니다...