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베이어드-알퍼트 이온화 게이지 소개 (Introduction to Bayard-Alpert Style Ionization Gauges:)

이 글은 다양한 종류의 B-A 게이지, 작동 기본 원리, B-A 게이지의 구성 요소 및 탈기 기술에 대해 다룹니다.베이어드-알퍼트 이온화 게이지 소개 베이어드-알퍼트 진공 게이지는 게이지 내의 가스 분자를 이온화하고, 이온 수집기 와이어에 이온을 모아 이온 수집기로의 전류를 측정하여 존재하는 분자의 수를 결정하고 이 측정 값을 바탕으로 압력을 나타냅니다. 베이어드-알퍼트 게이지는 1950년에 R.T. Bayard와 D. Alpert에 의해 발명되었습니다. 이 발명은 트라이오드 게이지의 진공 압력 측정 한계를 극복하기 위해 고안되었습니다. 트라이오드 게이지는 전자가 그리드에 충돌하면 저에너지 X선이 발생하여 이온 수집기에 충돌할 때 광전자를 방출하므로 10-8 Torr보다 낮은 압력을 측정할 수 없습니다...

진공 측정 2024.11.17

누설탐지 개요(Leak Detection Overview)

서론 진공 누출 탐지의 일반적인 원리는 간단합니다. 누설부의 대기 측에 기체 또는 액체를 분사하면 “탐지 장치”에서 공기와 다른 반응을 보입니다. 해당 기체(또는 증기)는 누출을 통해 확산되어 공기를 밀어내고, 탐지 장치의 출력이 변화합니다. 그러나 실제로는 그렇게 간단하지 않습니다. 처음에는 예상하거나 원하는 만큼 압력이 낮지 않다는 것만 알 수 있습니다. 이러한 상태는 누출 외에도 다음과 같은 원인으로 발생할 수 있습니다:고진공 펌프 고장기계식 펌프 오일의 높은 용제 농도기계식 펌프의 열악한 오일 품질샘플로부터의 가스 방출새로운 진공 부품으로부터의 가스 방출가열에 의한 증기압 증가습한 날씨에 대기로의 환기고무나 플라스틱 부품을 통한 헬륨 침투시스템에 누출이 있다고 확신할 때조차도, 누출 감지를 복잡하..

진공 측정 2024.11.17

건식 진공 펌프 시장 보고서 개요

전 세계 건식 진공펌프 시장 규모는 2019년 1억 5,080만 달러였으며, 2026년 말에는 2억 4,340만 달러에 이를 것으로 전망되며, 예측 기간 동안 CAGR은 3.0%를 기록할 것으로 예상된다. 최근 몇 년간 효율적이고 친환경적인 진공 펌프 솔루션에 대한 수요가 증가함에 따라 건식 진공 펌프 시장이 크게 성장하고 있다. 기존의 오일 밀봉 진공 펌프와 달리 건식 진공 펌프는 윤활유 없이 작동하여 보다 지속 가능하고 비용 효율이 높다. 이러한 펌프는 의약품, 반도체 제조, 화학 가공 및 식품 및 음료 등 다양한 분야에 광범위하게 적용되고 있다. 특히 동결 건조, 용매 회수 및 포장 등의 공정에서 무공해 진공 환경에 대한 중요한 요구로 인해 건식 진공 펌프에 대한 수요가 급증하고 있다.유지 비용 절..

진공 펌프 2024.04.28

UHV-TPD 장치를 이용한 강철 내 수소 측정

철에 결합된 수소를 측정하는 것은 점점 더 까다로운 응용 분야를 위한 새로운 철강 유형을 개발하는 데 중요한 요소입니다.열 탈착 분광법(TDS) 또는 열 탈착 분석(TDA)으로도 알려진 온도 프로그램 탈착(TPD)은 이러한 샘플의 수소 함량을 분석하기 위해 잘 확립된 기술입니다. TPD에 의한 분석에는 UHV(초고진공) 챔버에 샘플을 배치하고 사중극자 질량 분석기를 사용하여 탈착 스펙트럼을 수집하는 동안 다양한 선형 온도 램프 속도로 샘플을 가열하는 작업이 포함됩니다.석유 추출 산업에서 깊은 매장지의 시추에 사용되는 강철은 상당한 기술적 과제를 안겨줍니다. 매장지가 깊을수록 더 높은 작동 온도와 압력에서 성능을 발휘할 수 있는 재료에 대한 요구 사항이 더 커집니다. 수반되는 미세 구조가 수소 취성에 대한..

진공 측정 2024.04.28

코리올리스 질량 유량계(MFC)

Coriolis 질량 유량계의 작동 방식 코리올리스 질량 유량계는 회전 중심을 향해(또는 그로부터 멀어지는) 질량에 의해 생기는 가속도로 인한 힘을 측정합니다. 이 효과는 회전 중심을 향해 이동하면 균형을 유지하기 위해 회전에 "기울어"야 하는 회전목마를 탈 때 경험할 수 있습니다. 유량계와 관련하여, 양손으로 몸통 앞에서 앞뒤로 "스윙"하는 유연한 호스 고리에 물을 흘려 효과를 입증할 수 있습니다. 물이 손을 향해 또는 손에서 멀어지기 때문에 반대의 힘이 발생하여 호스가 뒤틀리게 됩니다. 이는 판매되는 모든 유량계의 약 21%를 차지합니다. 코리올리스 질량 유량계에서는 유체가 흐르는 관을 진동시켜 "스윙"을 생성합니다. 트위스트의 양은 관을 통과하는 유체의 질량 유량에 비례합니다. 센서와 코리올리 질량..

진공 측정 2023.10.30

열량형 질량유량계 (MFC)

열량형 유량계의 작동 방식 열 유량계는 유체의 열 특성을 이용하여 파이프나 덕트를 흐르는 유체의 흐름을 측정합니다. 일반적인 열 유량계에서는 측정된 열량을 센서의 히터에 가합니다. 이 열량 중 일부는 흐르는 유체에 손실됩니다. 흐름이 증가할수록 더 많은 열량이 손실됩니다. 손실된 열량은 센서의 온도 측정을 이용하여 감지됩니다. 송신기는 열 입력과 온도 측정을 이용하여 유체의 흐름을 결정합니다. 대부분의 열 유량계는 가스 흐름을 측정하는 데 사용됩니다. 열 유량계는 전 세계 유량계 매출의 2%를 차지합니다. 센서에서 손실되는 열의 양은 센서 설계와 유체의 열 특성에 따라 달라집니다. 유체의 열 특성은 압력과 온도에 따라 달라질 수 있지만 이러한 변동은 대부분의 응용 분야에서 일반적으로 작습니다. 유체의 열..

진공 측정 2023.10.30

질량유량계 (Mass Flow Controller)

1. Mass Flow Controller는 어떻게 작동합니까? Mass Flow Controller는 유량을 정확하게 제어하여 공정에 하나 이상의 화합물(가스 또는 액체)을 공급하는 소형 장치입니다. 이를 위해 공급할 화합물(들)의 유량은 전압, 전류 또는 디지털(필드 버스) 소스에 의해 전자적으로 설정됩니다. 장치를 통해 흐르는 가스 또는 액체의 양은 내부 센서에 의해 측정됩니다. 이 측정값은 설정값과 비교됩니다. 두 값이 같도록 제어 밸브는 유로의 크기를 (열리거나 닫힘으로써) 바꿉니다. 기본적으로, 질량 흐름 제어기는 센서와 밸브 사이의 제어 밸브 및 피드백 전자 장치와 결합된 질량 흐름 미터(즉, 센서)입니다. 이 제어 기능(PID, 비례-적분-도함수라고도 함)은 종종 디바이스 전자 장치의 표준..

진공 측정 2023.10.30

열 에너지는 완전한 진공상태를 통과할 수 있습니다.

고체의 열 전달은 일반적으로 전자 또는 포논으로 알려진 원자 진동을 통해 전도됩니다. 진공 상태에서 열은 오랫동안 방사선에 의해 전달되지만 매체가 없기 때문에 포논에 의해 전달되지 않는 것으로 생각되어 왔습니다. 최근 연구에서는 전자기장의 양자 변동이 진공을 가로질러 포논 결합을 유도하여 열 전달을 촉진할 수 있다고 예측했습니다. UC 버클리 대학의 과학자들이 실시한 조사에 따르면 양자 역학의 기이함은 고전 물리학의 기본 교리를 뒤집어 놓을 수 있음을 보여주었습니다. 카시미르 상호작용이라는 양자역학적 현상으로 인해 열 에너지는 진공의 200~300나노미터를 뛰어 넘을 수 있습니다. 이러한 상호 작용은 매우 짧은 길이 규모에서는 주목할 만하다는 사실에도 불구하고 열 분산이 필수적인 컴퓨터 칩 및 기타 나노..

진공 개요 2023.10.30

피라니 게이지

Pirani 또는 열전도도 게이지는 기체의 열전도도를 사용하여 대기압에서 10-4 mbar 범위의 압력을 측정합니다. 게이지 헤드 내의 필라멘트는 휘트스톤 브리지의 한쪽 팔을 형성합니다. 하나의 작동 모드에서 브리지에 인가되는 가열 전압은 필라멘트 저항과 따라서 필라멘트의 온도가 필라멘트에 의해 방출되는 열량에 관계없이 일정하게 유지되도록 제어됩니다. 필라멘트에서 기체로의 열 전달은 압력이 증가함에 따라 증가하기 때문에 브리지에 걸친 전압은 압력의 척도가 됩니다. 이는 아래 교정 차트와 같이 가스종에 따라 열전도율이 달라지기 때문에 간접적인 게이지입니다. 아래 동영상은 Pirani 게이지의 작동 원리를 보여 줍니다. 전체 압력에 따라 게이지 내부의 진공을 통해 열이 어떻게 전달되는지 확인할 수 있습니다...

진공 측정 2023.10.28

열음극 이온화 게이지

이 게이지는 양전하로 대전된 양극에 끌리는 가열된 음극에서 전자를 방출하고, 전자가 비행하는 동안 가스 분자를 이온화 합니다. 생성되는 이온 전류는 가스 압력에 비례합니다. 오늘날 주로 사용되는 고온음극 센서는 바야드-알퍼트(BA) 원리를 기반으로 합니다. BA 진공계는 얇은 이온 수집선에 양이온을 모아 이온 수집기에 전류를 측정하여 존재하는 분자의 수를 결정하고 그 측정에 기초한 압력을 나타냅니다. 바야드 알퍼트 게이지는 ~10-8 mbar의 삼극 게이지에 의한 진공 압력 측정의 한계를 극복하기 위해 1950년 R.T. 바야드와 D. 알퍼트에 의해 발명되었습니다. 이것은 격자에 부딪히는 전자가 낮은 에너지의 엑스선을 만들기 때문이다 양극은 이온 집전체에 부딪힐 때 광전자를 방출한다. 광전자가 집전체를 ..

진공 측정 2023.10.28