용량성 측정이라는 용어는 플레이트 캐패시터가 다이어프램 뒤에 고정된 전극이 있는 다이어프램에 의해 생성된다는 것을 의미합니다. 이 캐패시터의 두 플레이트 사이 거리가 변경되면 캐패시턴스가 변경됩니다. 압력에 비례하는 이 변화는 해당 전기 측정 신호로 변환됩니다. 진공 기준 챔버는 압력 측정을 위한 기준 역할을 합니다. 캐패시턴스 게이지를 사용하면 10-5 mbar에서 대기압보다 훨씬 높은 압력까지 정확하게 측정할 수 있습니다. 따라서 서로 다른 두께의 다이어프램을 가진 다양한 캐패시턴스 게이지를 사용하여 감도를 측정해야 합니다.
이 비디오는 정전식 게이지의 작동 원리에 중점을 둡니다. 전체 압력 변화에 따라 게이지 내부의 다이어프램이 어떻게 움직이는지 볼 수 있습니다.
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