진공게이지 종류

"직접"게이지는 측정되는 가스의 조성과 관계없이 압력과 관련된 힘을 측정한다. "간접"게이지는 측정이 열전도도 또는 이온화 특성과 같은 압력 의존 속성을 측정하기 때문에 측정되는 가스 종류에 따라 다르다. 게이지 제조업체는 기술의 측정 범위 제약을 극복하기 위해 조합형 게이지를 출시한다. 예를 들어, Pirani-Penning 게이지 조합은 대기에서 10-10mbar까지 작동할 수 있다.

게이지 측정영역

기계식 다이얼 게이지는 대기압에서 1mbar까지의 압력 범위에서 사용된다. 그러나 이러한 게이지는 제한된 정확도만 제공하며 설치된 지점에서만 직접 읽을 수 있다. 다이어프램 진공 게이지(피에조 센서 또는 정전 용량 센서)는 보다 정확한 측정을 얻고 판독 값을 원격으로 표시하는 데 사용된다.

 

Pirani 열전도 게이지는 10 ~ 10-4mbar에서 사용된다. 10-2mbar 미만의 압력에서 특수 고압 열음극 이온화 진공 게이지를 사용할 수도 있다.

 

냉 음극 이온화 진공 게이지 또는 열음극 이온화 진공 게이지는 모두 10-3mbar 미만의 압력에 사용되며, 후자는 깨끗한 조건 및 엄격한 정확도 요구 사항의 경우에 사용된다. 사용 중인 전체 압력 범위를 커버하기 위해 두 개 이상의 센서를 조합하여 사용하는 것도 좋은 생각이다.

 

다이어프램 진공 게이지와 피라니 진공 게이지의 경우, 압력이 충분히 낮은 경우에만 이온화 진공 게이지를 활성화하기 위한 압력 스위치 포인트가 생성되어 고온, 열전자, 음극의 오염 또는 소손으로부터 보호된다.

 

출처: www.vacuumscienceworld.com