진공 측정

피라니 게이지

UHV System 2023. 10. 28. 16:29

Pirani 또는 열전도도 게이지는 기체의 열전도도를 사용하여 대기압에서 10-4 mbar 범위의 압력을 측정합니다. 게이지 헤드 내의 필라멘트는 휘트스톤 브리지의 한쪽 팔을 형성합니다.

 

하나의 작동 모드에서 브리지에 인가되는 가열 전압은 필라멘트 저항과 따라서 필라멘트의 온도가 필라멘트에 의해 방출되는 열량에 관계없이 일정하게 유지되도록 제어됩니다. 필라멘트에서 기체로의 열 전달은 압력이 증가함에 따라 증가하기 때문에 브리지에 걸친 전압은 압력의 척도가 됩니다.

이는 아래 교정 차트와 같이 가스종에 따라 열전도율이 달라지기 때문에 간접적인 게이지입니다.

아래 동영상은 Pirani 게이지의 작동 원리를 보여 줍니다. 전체 압력에 따라 게이지 내부의 진공을 통해 열이 어떻게 전달되는지 확인할 수 있습니다. 가스 유형에 대한 열 전달 및 압력의 의존성도 시각화 됩니다.

 

 

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