다단계 루츠펌프는 두개 이상의 루츠를 직렬로 연결하여 루츠펌프의 압력차이 단점을 보완한 제품 입니다. 다단계 루츠펌프는 대기압에서 10-2 mbar 영역까지 배기가 가능하며, 무입자 배기가 요구되는 분야에서 스크롤펌프를 대안으로 적용되는 건식 배기 방식 입니다. 주로 분석기기, R&D, 첨단산업 분야의 건식, 청정 분야에서 사용 됩니다. 다단계 루츠 펌프의 장점은 부품 간의 접촉이 없기 때문에 마모가 발생되지 않으며 컴팩트 합니다. 따라서 회전자와 고정자 사이에 윤활제와 밀봉재가 필요하지 않아서 탄화수소 계열 기체의 역류를 방지할 수 있습니다. 그렇지만 제작이 어렵고 높은 서비스 비용이 발생됩다. 내부식성의 재료로 제작된 펌프는 반도체산업의 CVD 공정과 같이 부식성이 강한 응용분야에서도 사용 됩니다. ..

일반적으로 진공기술에서 압력 범위는 다음과 같이 정의된다. 저진공 (10^-3 ~ 1 mbar); 중진공 (1 ~ 10^-3 mbar); 고진공 (10^-3 ~ 10^-7 mbar); 초고진공 (10^-7 ~ 10^-12 mbar); 극초고진공 (10^-12 mbar 이하) (아래 그림 참조) 도달 진공도 외에도 다양한 펌프 기술의 성능한계를 고려하는 것 또한 중요하다. 진공 시스템의 크기에 따라 경제적 관점에서 적용가능한 펌프의 선택 범위를 축소시킬 것이다. 대부분 1차 진공 펌프 (주로 저진공 및 중간 진공 영역에서 작동)는 대기압력까지 배기가 되므로 독립적으로 작동될 수 있다. 2차 펌프 (일반적으로 고진공 및 초고진공 범위에서 작동)는 1차 펌프로 지속적으로 배기하거나 일정 진공 수준을 유지하기 ..

흔히 터보 펌프(Turbo pump)로 부른다. 매우 빠른 회전 로터 (일반적으로 24,000 ~ 90,000rpm)를 사용하여 작동하는 운동 장치이다. 샤프트에 로터/고정자 쌍으로 된 날개가 다수로 붙어 있어서 형태는 다중 블레이드 터빈과 유사하다. 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 안으로 들어오는 기체 분자를 쳐서 그 운동 방향을 폄프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 원리이다.터보펌프는 오일로터리 펌프나 드라이펌프와 같은 1차 펌프가 있어야 동작이 된다. 베어링의 종류에 따라 자기부상베어링, 기계식 베어링, 수동형 자기-기계식 혼합 베어링으로 구분된다. 주로 10^-3 ~ 10^-11 mbar 영역의 진공도 배기를 위해 사용되지만, 주로 주사전자현미경(scanning electron microscope..