질량유량계 (Mass Flow Controller)

1. Mass Flow Controller는 어떻게 작동합니까?
Mass Flow Controller는 유량을 정확하게 제어하여 공정에 하나 이상의 화합물(가스 또는 액체)을 공급하는 소형 장치입니다. 이를 위해 공급할 화합물(들)의 유량은 전압, 전류 또는 디지털(필드 버스) 소스에 의해 전자적으로 설정됩니다. 장치를 통해 흐르는 가스 또는 액체의 양은 내부 센서에 의해 측정됩니다. 이 측정값은 설정값과 비교됩니다. 두 값이 같도록 제어 밸브는 유로의 크기를 (열리거나 닫힘으로써) 바꿉니다.

기본적으로, 질량 흐름 제어기는 센서와 밸브 사이의 제어 밸브 및 피드백 전자 장치와 결합된 질량 흐름 미터(즉, 센서)입니다. 이 제어 기능(PID, 비례-적분-도함수라고도 함)은 종종 디바이스 전자 장치의 표준 부분인 반면, 제어 특성은 사용자 소프트웨어에 의해 빠르고 부드러운 제어를 위해 조정될 수 있습니다.

2. 체적 유량 대신 질량 흐름을 제어하는 이유는 무엇입니까?
단순히 많은 연구 및 생산 공정에서 중요한 변수는 부피가 아니라 질량입니다. Mass Flow Controller는 질량 흐름을 직접적으로 제어할 수 있습니다. 경제적인 관점에서 보면 기체나 액체의 질량은 공정의 작동 온도나 압력과 무관하게 독립적인 값입니다. 따라서 질량 흐름 장치는 유입되는 흐름의 온도와 압력의 변동에 영향을 받지 않습니다.

압축 가능한 가스 흐름을 어차피 볼륨 흐름으로 표현하고자 하는 사용자의 선호를 충족시키기 위해, 질량 흐름이 볼륨 흐름으로 변환되는 조건이 합의됩니다. 이러한 '정상' 기준 조건은 0°C의 온도와 1 atm의 절대 압력으로, 사용되는 볼륨 단위의 첨자 "n"으로 표시됩니다.