냉음극 이온화 게이지는 음극이 가열되지 않고 일반적으로 반전 마그네트론 원리로 작동하기 때문에 이렇게 명명됩니다.
이 장치에서는 높은 전압을 인가하여 가스 방전을 점화합니다. 이때 생성된 이온 전류는 현재 압력에 비례하는 신호로 출력됩니다. 가스 방전은 인가된 자기장의 도움으로 낮은 압력으로 유지됩니다.
냉음극 시스템에서는 수 kV DC까지의 높은 점화 전압이 필요합니다. 압력을 결정하기 위해 플라즈마의 전기 전도도를 측정합니다. 자기장은 전자를 나선형으로 움직이게 합니다. 가스 분자가 전자에 부딪히면 양이온이 방출됩니다. 이것은 음극으로 이동하여 전기 신호를 발생시킵니다. 양이온이 많을수록 전류가 증가하고 압력이 높아집니다.
냉음극 이온화 게이지는 센서에 닫힌 자기장을 사용하는 반면, 다른 변형된 냉음극 게이지는 바깥쪽으로 열린 자기장을 역자석으로 사용하며, 이 자기장은 항상 외부에서 심박동기에 대한 경고 표시로 표시됩니다. 2·10-3에서 5·10-9 hPa(mbar) 사이의 고진공 및 초고진공 응용에 주로 사용됩니다. 열음극게이지에 비해 저렴하고, 내구성이 높으며, 오염에 민감하지 않습니다.
'진공 측정' 카테고리의 다른 글
| 피라니 게이지 (0) | 2023.10.28 |
|---|---|
| 열음극 이온화 게이지 (0) | 2023.10.28 |
| 사중극자 가스 분석기 선택 (1) | 2023.10.16 |
| RGA 시장동향 (0) | 2023.10.16 |
| 반도체 생산에서 잔류 가스 분석 사용 (2) | 2023.10.16 |