다이어프램 펌프는 저진공 상태에서 작동합니다. 설계상 단일 스테이지에서는 높은 압축비를 달성하지 못합니다. 따라서 우리는 종종 2단, 3단, 심지어 4단 다이어프램 펌프를 찾아 컴팩트하고 환경 친화적인 펌프로 유용하게 사용합니다. 실험실 응용 분야 및 터보분자 펌프(TMP) 보조용으로 사용됩니다. 다이어프램 펌프는 10^3에서 낮은 mbar 범위까지 표준 작동 범위를 생성할 수 있습니다.
작동 원리: 이 펌프는 막대에 의해 앞뒤로 움직이는 다이어프램을 사용합니다. 이 진동 운동은 매체를 압축하고 밸브를 활성화합니다. 가스는 입구 밸브를 통해 안으로 들어가고(다이어프램이 뒤로 움직일 때) 입구 밸브가 닫히고 가스는 출구 밸브를 통해 배출되기 전에 가압됩니다.
다이어프램과 밸브는 일반적으로 테프론(폴리테트라플루오로에틸렌, PTFE)으로 만들어져 부식에 강하고 증기 손상에 덜 취약합니다. 다이어프램 펌프는 설계상 "건식"이므로 탄화수소가 없는 진공을 제공합니다. 다이어프램 펌프의 또 다른 장점은 청소 및 유지 관리가 쉽고 많은 가스 및 실험실 화학 물질을 펌핑하는 데 적합하며 오일을 사용하지 않으므로 작동 및 유지 관리 비용이 낮다는 것입니다.
적용 분야 | - 화학 및 실험실 응용 분야(진공 여과, 증류, 건조 등) - 터보 분자 펌프용 전진공 펌프(복합 스테이지 포함) |
압력 범위 | 2,000 - 0.5 mbar |
장점 | 단점 |
- 유지관리/청소가 용이함 - 다양한 가스 및 응용 분야에 적합 - 다이어프램이 수평 일때 액체 방울의 펌핑 가능 |
- 상대적으로 작은 펌핑 속도만 사용 가능 - 최종 압력은 약. 1mbar - 짧은 다이어프램 수명 |


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