다단계 루츠펌프는 두개 이상의 루츠를 직렬로 연결하여 루츠펌프의 압력차이 단점을 보완한 제품 입니다. 다단계 루츠펌프는 대기압에서 10-2 mbar 영역까지 배기가 가능하며, 무입자 배기가 요구되는 분야에서 스크롤펌프를 대안으로 적용되는 건식 배기 방식 입니다.
주로 분석기기, R&D, 첨단산업 분야의 건식, 청정 분야에서 사용 됩니다.
다단계 루츠 펌프의 장점은 부품 간의 접촉이 없기 때문에 마모가 발생되지 않으며 컴팩트 합니다. 따라서 회전자와 고정자 사이에 윤활제와 밀봉재가 필요하지 않아서 탄화수소 계열 기체의 역류를 방지할 수 있습니다. 그렇지만 제작이 어렵고 높은 서비스 비용이 발생됩다. 내부식성의 재료로 제작된 펌프는 반도체산업의 CVD 공정과 같이 부식성이 강한 응용분야에서도 사용 됩니다.
| 적용 분야 | • 건조하고 깨끗한 용도(분석 기기, R&D) • 반도체 및 태양광 산업의 청정 애플리케이션 • 코팅 및 산업 응용 |
| 압력 범위 | 103 to 10-2 mbar |
| 장점 | 단점 |
| • 컴팩트한 디자인 • 주파수 제어 모터 • 긴 서비스 간격 • 접촉 부품 없음 – 마모 없음 • 깨끗한 펌핑 – 입자 없음, 오일 없음 |
• 높은 서비스 비용/조립 시간 • 대기압에서의 펌핑 성능 저하 |
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