스크롤 펌프는 두 개의 인터리브 아르키메데스 나선형 스크롤을 사용하여 가스를 펌핑하거나 압축합니다. 스크롤 중 하나는 고정되어 있고 다른 하나는 회전하지 않고 편심 궤도를 그리며 스크롤의 외부(즉, 입구) 부분에서 내부(즉, 출구) 부분으로 갇힌 가스를 이동시키는 스크롤 사이의 가스 포켓을 가두어 압축합니다.
스크롤 펌프는 깨끗하고 건식 진공 펌핑이 필요한 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 또한 스크롤 펌프는 터보분자 펌프 시스템의 배압 펌프로 자주 사용됩니다.
스크롤 펌프는 다른 진공 펌프에 비해 많은 장점을 가지고 있습니다. 아마도 가장 중요한 점은 로터리 베인 펌프에 비해 초기 비용이 높지만 오일이 필요하지 않기 때문에 운영 비용이 낮다는 것입니다(환경 친화적이기도 함). 게다가 유지보수 필요성도 낮습니다. (1 ~ 2.5년마다 보수가 필요함). 기타 장점과 단점은 다음과 같습니다. 그러나 팁 씰을 마모하면 입자 방출이 발생할 수 있으며 팁 씰은 유입된 잔해에 대한 내성이 낮을 수 있습니다.
| 적용 분야 | • 분석 장비(예: 누출 감지기, 전자 현미경 등) • 깨끗한 전진공 애플리케이션 |
| 압력 범위 | 103 – 10-2 mbar |
| 장점 | 단점 |
| • 높은 펌핑 속도 • 좋은 최종 압력 • 낮은 소음 수준 및 진동 • 저전력 소비 • 진공 공간에서 격리된 펌프 베어링 - 오염 위험 없음 • 컴팩트한 디자인과 가벼운 무게 |
• 낮은 입자 내성 • 입자 방출 가능성 |
'진공 펌프' 카테고리의 다른 글
| 스크류 펌프 (0) | 2023.10.11 |
|---|---|
| 로터리 베인 펌프 (0) | 2023.10.11 |
| 다이어프램 펌프 (0) | 2023.10.11 |
| 비증발성 게터(NEG) 펌프 (0) | 2023.06.29 |
| 다단계 루츠펌프(Multistage Roots pumps) (0) | 2020.10.29 |