시스템 내 가스 부하에 대한 기여요인은 크게 다섯 가지이며, 다음과 같습니다(그림 1 참조). 1. 초기 가스 모든 챔버는 초기에 대기압에 있으며, 필요한 압력에 도달하기 위해 밀폐된 가스를 펌핑해야 합니다. 이는 처음에는 가스 부하에 주로 기여하지만 가스의 양과 특성, 시스템 온도, 필요한 압력 및 펌핑 속도에만 의존합니다. 2. 공정 가스 부하 필요한 압력에 도달하면 때때로 추가 재료(일반적으로 가스)가 도입됩니다. 만약 존재한다면, 이것은 종종 가스 부하에 대한 지배적인 기여가 되지만, 가스 종류와 유량을 알 수 있을 것이다. 3. 누설 이상적인 시스템은 누출이 없지만 종종 실제 및 가상 누출이 존재하여 가스 부하를 증가시킬 수 있습니다. 실제 누출은 챔버 벽의 결함, 씰 등으로, 시스템 외부의 분..

진공 시스템에서 가스 방출을 줄일 수 있는 네 가지 주요 방법이 있습니다. 세정 및 베이크아웃, 표면 처리, 패시베이션, 퍼징 및 채우기 등이 있습니다. 이 애플리케이션 노트에서는 이러한 각 방법에 대해 자세히 살펴보겠습니다. 1. 세정 및 베이킹 이러한 기술에는 짧은 시간이 소요되고 대부분 현장에서 개별 부품에 수행되는 비교적 간단한 방법이 포함됩니다. 거칠고 미세한 표면 오염에 효과적이며 기체 방출율을 50%에서 10배까지 줄일 수 있습니다. 낮은 탈기체 속도를 달성하고 UHV에 도달하려면 적절한 재료 준비가 필수적입니다. 기체방출율을 줄이기 위해 세척 후 베이크아웃 해야 합니다. 재료 준비가 시작되면 항목을 신중하게 취급하는 것이 중요합니다. 예를 들어 지문이 탈착되는데 며칠이 걸리는데 이와 같이하..