시스템 내 가스 부하에 대한 기여요인은 크게 다섯 가지이며, 다음과 같습니다(그림 1 참조). 1. 초기 가스 모든 챔버는 초기에 대기압에 있으며, 필요한 압력에 도달하기 위해 밀폐된 가스를 펌핑해야 합니다. 이는 처음에는 가스 부하에 주로 기여하지만 가스의 양과 특성, 시스템 온도, 필요한 압력 및 펌핑 속도에만 의존합니다. 2. 공정 가스 부하 필요한 압력에 도달하면 때때로 추가 재료(일반적으로 가스)가 도입됩니다. 만약 존재한다면, 이것은 종종 가스 부하에 대한 지배적인 기여가 되지만, 가스 종류와 유량을 알 수 있을 것이다. 3. 누설 이상적인 시스템은 누출이 없지만 종종 실제 및 가상 누출이 존재하여 가스 부하를 증가시킬 수 있습니다. 실제 누출은 챔버 벽의 결함, 씰 등으로, 시스템 외부의 분..
