1. Mass Flow Controller는 어떻게 작동합니까? Mass Flow Controller는 유량을 정확하게 제어하여 공정에 하나 이상의 화합물(가스 또는 액체)을 공급하는 소형 장치입니다. 이를 위해 공급할 화합물(들)의 유량은 전압, 전류 또는 디지털(필드 버스) 소스에 의해 전자적으로 설정됩니다. 장치를 통해 흐르는 가스 또는 액체의 양은 내부 센서에 의해 측정됩니다. 이 측정값은 설정값과 비교됩니다. 두 값이 같도록 제어 밸브는 유로의 크기를 (열리거나 닫힘으로써) 바꿉니다. 기본적으로, 질량 흐름 제어기는 센서와 밸브 사이의 제어 밸브 및 피드백 전자 장치와 결합된 질량 흐름 미터(즉, 센서)입니다. 이 제어 기능(PID, 비례-적분-도함수라고도 함)은 종종 디바이스 전자 장치의 표준..
