로터리 베인 펌프

로터리 베인 펌프는 가장 일반적인 유형의 용적형 진공 펌프입니다. 매우 성숙한 기술로서 탁월한 신뢰성, 견고성, 컴팩트한 디자인 및 낮은 투자 비용을 제공합니다. 

 

대기압부터 약 10^-4mbar까지의 압력 범위 내에서 작동하므로 모든 종류의 중진공 및 고진공 펌프에 이상적인 배압 펌프입니다. 일부 응용 분야에서는 오일 밀봉 작동이 단점이 되는 반면, 오일을 사용하면 더 높은 압축비, 더 나은 내부 냉각 동작이 가능하고 펌프가 먼지 및 응축수에 대한 내성을 갖게 됩니다.

 

물론 펌프를 정기적으로 정비(오일 교환)해야 한다는 것은 비슷한 크기의 건식 펌프에 비해 유지 비용이 더 높다는 것을 의미합니다.

적용 분야	•  산업 및 코팅 응용 분야 •  분석 장비(질량 분석기, 누출 감지기 등) •  연구개발 •  반도체 및 태양광 애플리케이션(특수 용도)...
압력 범위	103 – 10-4 mbar

장점	단점
• 매우 낮은 도달 압력 • 높은 펌핑 속도(대기에서) • 다양한 가스 및 응용 분야에 적합 • 높은 신뢰성	• 탄화수소 오염 • 오일 교체

오일 로터리 베인펌프 원리