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초고진공 시스템 및 응용 기술

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  • 스크류 펌프에 대해 알아야 할 모든 것 스크류 펌프는 건식 압축 가스 전달 펌프 계열에 속합니다. 이들은 두 개의 나사 모양의 맞물린 회전자를 사용하여 가스를 나사의 축을 따라 이동시키는 용적형 펌프입니다. 주로 산업용 진공 응용 분야에서 사용되며, 종종 루츠 블로워와 결합하여 고진공 및 초고진공 시스템에서 무오일 러핑 펌프로 사용됩니다.스크류 펌프는 어떻게 작동하나요?스크류 펌프는 서로 "맞물려 회전하는" 두 개의 반대 방향으로 회전하는 스크류 로터를 사용합니다. 이는 로터의 나사 사이 공간에 가스를 가두게 됩니다. 스크류가 회전하면서 이 가둬진 부피가 줄어들어 가스를 압축하면서 동시에 배출구로 이동시킵니다. SCREWLINE (건식 스크류 펌프)로터: 로터는 고압 쪽에서 캔틸레버 디자인 솔루션으로 지지되며, 내부에서 냉각될 수 있습니다.모.. 공감수 0 댓글수 1 2024. 11. 23.
  • 멤브레인 펌프는 어떻게 작동하나요? 멤브레인 펌프는 다양한 산업에서 필수적인 도구로 자리잡았습니다. 그러나 그 작동 원리는 무엇일까요? 고성능 멤브레인 펌프는 유연한 다이어프램을 사용하여 액체나 기체를 이동시킵니다. 이러한 펌프는 부식성 및 민감한 유체를 안전하게 처리할 수 있어 다양한 응용 분야에 적합합니다. 멤브레인 펌프의 내부 작동 원리와 그 기능적 원리, 유지보수 요구 사항 및 주요 특성을 살펴보며 현대 산업의 다양한 요구를 충족시키는 방법을 알아보겠습니다.멤브레인 펌프란 무엇인가요?멤브레인 펌프(다이어프램 펌프라고도 불림)는 컴팩트하고 내구성이 뛰어나며 유지보수가 적은 용적형 펌프로, 유연한 멤브레인이나 다이어프램의 왕복 운동을 이용하여 액체와 기체를 이동시키거나 진공이나 압력을 생성합니다. 다른 유형의 펌프와 달리 멤브레인 펌프.. 공감수 1 댓글수 2 2024. 11. 23.
  • 스퍼터 이온펌프 역사 (Sputter Ion Pump History) 애질런트(Agilent)는 예프센(Jepsen), 헬머(Helmer) 및 홀(Hall)이 Varian Associates에서 이온 펌프를 발명한 지 60주년을 기념합니다. 이 발명은 초고진공(UHV)을 가능하게 한 중요한 이정표였습니다. 애질런트 테크놀로지스(Agilent Technologies)는 2010년 Varian, Inc.를 인수하면서 고진공 및 초고진공 기술 분야에서 타의 추종을 불허하는 풍부한 경험을 물려받았습니다. 이 중요한 기반 기술의 발전은 입자 가속기 및 분석 장비에서 반도체 및 코팅에 이르는 많은 과학 및 기술 응용 분야에 깨끗한 고진공 및 초고진공을 제공했습니다.  초기 역사 Varian의 초기 활동은 1948년에 Klystron의 발명가인 Russell Varian과 그의 형제 .. 공감수 3 댓글수 1 2024. 11. 17.
  • 가스 밸러스트: 더 높은 최종 압력, 더 긴 수명 거의 모든 대기압 작동을 위해 설계된 오일 밀봉 진공 펌프는 가스 밸러스트 장치가 장착되어 있습니다. 그런데 가스 밸러스트의 목적은 무엇일까요? 그것이 최종 압력에 도달하는 데 영향을 미치지 않나요? 또한 진공 펌프의 배기 시간이 더 길어지지 않나요? 이 짧은 기사에서는 가스 밸러스트의 다양한 응용 분야에 대해 설명하겠습니다. 가스 밸러스트오일 밀봉 진공 펌프의 가스 밸러스트는 1935년 Wolfgang Gaede 교수의 발명품 (저압을 생성하기 위해 증기 및 가스/증기 혼합물을 전달하는 단일 또는 다단계 진공 펌프)에 그 기원을 두고 있습니다. 원래의 목적은 진공 펌프의 압축 단계에서 펌핑된 가스 증기의 응축을 방지하는 것이었습니다. 그러나 가스 밸러스트는 그 이상의 역할을 할 수 있습니다! 구조 및 .. 공감수 0 댓글수 0 2024. 11. 17.
  • 건식 진공 펌프 시장 보고서 개요 전 세계 건식 진공펌프 시장 규모는 2019년 1억 5,080만 달러였으며, 2026년 말에는 2억 4,340만 달러에 이를 것으로 전망되며, 예측 기간 동안 CAGR은 3.0%를 기록할 것으로 예상된다. 최근 몇 년간 효율적이고 친환경적인 진공 펌프 솔루션에 대한 수요가 증가함에 따라 건식 진공 펌프 시장이 크게 성장하고 있다. 기존의 오일 밀봉 진공 펌프와 달리 건식 진공 펌프는 윤활유 없이 작동하여 보다 지속 가능하고 비용 효율이 높다. 이러한 펌프는 의약품, 반도체 제조, 화학 가공 및 식품 및 음료 등 다양한 분야에 광범위하게 적용되고 있다. 특히 동결 건조, 용매 회수 및 포장 등의 공정에서 무공해 진공 환경에 대한 중요한 요구로 인해 건식 진공 펌프에 대한 수요가 급증하고 있다.유지 비용 절.. 공감수 0 댓글수 1 2024. 4. 28.
  • 스크류 펌프 스크류 펌프는 두 개의 역회전 스크류 로터를 사용하여 작동합니다. 이 로터는 서로 "서로 안쪽으로" 회전하여 로터의 "스크류" 사이에 가스를 가두도록 설계되었습니다. 나사가 회전하면서 가스를 압축할 뿐만 아니라 가스를 출구 포트 쪽으로 이동시키면서 이 공극은 감소합니다. 이는 루츠 펌프의 전단 펌프로 자주 사용됩니다. 스크류 펌프에는 여러 가지 중요한 측면이 있습니다. 두 회전 스크류 사이의 미세한 공간에도 불구하고 접촉 부품이 없으며 윤활이 필요하지 않으므로 펌핑되는 매체가 오염되지 않습니다. 또한 회전 마모가 최소화되고 입자에 대한 내성이 높으며 펌핑 속도가 빠르고 최종 압력이 낮으며 내부 압축으로 인해 효율성이 높습니다. 그러나 가벼운 가스를 펌핑하는 데는 적합하지 않으며 작은 펌핑 속도로 축소할 .. 공감수 0 댓글수 0 2023. 10. 11.
  • 로터리 베인 펌프 로터리 베인 펌프는 가장 일반적인 유형의 용적형 진공 펌프입니다. 매우 성숙한 기술로서 탁월한 신뢰성, 견고성, 컴팩트한 디자인 및 낮은 투자 비용을 제공합니다. 대기압부터 약 10-4mbar까지의 압력 범위 내에서 작동하므로 모든 종류의 중진공 및 고진공 펌프에 이상적인 배압 펌프입니다. 일부 응용 분야에서는 오일 밀봉 작동이 단점이 되는 반면, 오일을 사용하면 더 높은 압축비, 더 나은 내부 냉각 동작이 가능하고 펌프가 먼지 및 응축수에 대한 내성을 갖게 됩니다. 물론 펌프를 정기적으로 정비(오일 교환)해야 한다는 것은 비슷한 크기의 건식 펌프에 비해 유지 비용이 더 높다는 것을 의미합니다. 적용 분야 • 산업 및 코팅 응용 분야 • 분석 장비(질량 분석기, 누출 감지기 등) • 연구개발 • 반도체 .. 공감수 1 댓글수 0 2023. 10. 11.
  • 스크롤 펌프 스크롤 펌프는 두 개의 인터리브 아르키메데스 나선형 스크롤을 사용하여 가스를 펌핑하거나 압축합니다. 스크롤 중 하나는 고정되어 있고 다른 하나는 회전하지 않고 편심 궤도를 그리며 스크롤의 외부(즉, 입구) 부분에서 내부(즉, 출구) 부분으로 갇힌 가스를 이동시키는 스크롤 사이의 가스 포켓을 가두어 압축합니다. 스크롤 펌프는 깨끗하고 건식 진공 펌핑이 필요한 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 또한 스크롤 펌프는 터보분자 펌프 시스템의 배압 펌프로 자주 사용됩니다. 스크롤 펌프는 다른 진공 펌프에 비해 많은 장점을 가지고 있습니다. 아마도 가장 중요한 점은 로터리 베인 펌프에 비해 초기 비용이 높지만 오일이 필요하지 않기 때문에 운영 비용이 낮다는 것입니다(환경 친화적이기도 함). 게다가 유지보수 필요성도 낮.. 공감수 0 댓글수 1 2023. 10. 11.
  • 다이어프램 펌프 다이어프램 펌프는 저진공 상태에서 작동합니다. 설계상 단일 스테이지에서는 높은 압축비를 달성하지 못합니다. 따라서 우리는 종종 2단, 3단, 심지어 4단 다이어프램 펌프를 찾아 컴팩트하고 환경 친화적인 펌프로 유용하게 사용합니다. 실험실 응용 분야 및 터보분자 펌프(TMP) 보조용으로 사용됩니다. 다이어프램 펌프는 10^3에서 낮은 mbar 범위까지 표준 작동 범위를 생성할 수 있습니다. 작동 원리: 이 펌프는 막대에 의해 앞뒤로 움직이는 다이어프램을 사용합니다. 이 진동 운동은 매체를 압축하고 밸브를 활성화합니다. 가스는 입구 밸브를 통해 안으로 들어가고(다이어프램이 뒤로 움직일 때) 입구 밸브가 닫히고 가스는 출구 밸브를 통해 배출되기 전에 가압됩니다. 다이어프램과 밸브는 일반적으로 테프론(폴리테트라.. 공감수 0 댓글수 0 2023. 10. 11.
  • 비증발성 게터(NEG) 펌프 비증발성 게터(NEG) 펌프는 다공성 구조의 비증발성 소형 게터 재료로 작동합니다. 질소 또는 산소와 같은 반응성 가스 분자는 수소가 빠르게 확산되는 동안 게터 물질의 표면에 흡착합니다. 비활성기체(noble gas)이나 메탄은 NEG 물질에 의해 펌핑되지 않습니다. NEG 펌프에는 전기 히터가 포함되어 있습니다. 이 히터는 각 응용 프로그램 내에서 처음 설치 후 또는 포화 후 게터 재료를 가열하는 데 사용됩니다. 가열 단계는 표면에서 반응성 가스 화합물을 제거하고 게터 물질 내부에서 수소를 배출합니다. 가열 단계 사이에 펌프는 전기 에너지를 소비하지 않고 실온에서 작동합니다. UHV에서는 수소가 지배적인 역할을 하며 NEG 펌프는 이를 위한 펌프 속도가 특히 높습니다. 또 다른 큰 장점은 진동이 없다는.. 공감수 0 댓글수 0 2023. 6. 29.
  • 다단계 루츠펌프(Multistage Roots pumps) 다단계 루츠펌프는 두개 이상의 루츠를 직렬로 연결하여 루츠펌프의 압력차이 단점을 보완한 제품 입니다. 다단계 루츠펌프는 대기압에서 10-2 mbar 영역까지 배기가 가능하며, 무입자 배기가 요구되는 분야에서 스크롤펌프를 대안으로 적용되는 건식 배기 방식 입니다. 주로 분석기기, R&D, 첨단산업 분야의 건식, 청정 분야에서 사용 됩니다. 다단계 루츠 펌프의 장점은 부품 간의 접촉이 없기 때문에 마모가 발생되지 않으며 컴팩트 합니다. 따라서 회전자와 고정자 사이에 윤활제와 밀봉재가 필요하지 않아서 탄화수소 계열 기체의 역류를 방지할 수 있습니다. 그렇지만 제작이 어렵고 높은 서비스 비용이 발생됩다. 내부식성의 재료로 제작된 펌프는 반도체산업의 CVD 공정과 같이 부식성이 강한 응용분야에서도 사용 됩니다. .. 공감수 1 댓글수 0 2020. 10. 29.
  • 진공 펌프 작동영역 일반적으로 진공기술에서 압력 범위는 다음과 같이 정의된다. 저진공 (10^-3 ~ 1 mbar); 중진공 (1 ~ 10^-3 mbar); 고진공 (10^-3 ~ 10^-7 mbar); 초고진공 (10^-7 ~ 10^-12 mbar); 극초고진공 (10^-12 mbar 이하) (아래 그림 참조) 도달 진공도 외에도 다양한 펌프 기술의 성능한계를 고려하는 것 또한 중요하다. 진공 시스템의 크기에 따라 경제적 관점에서 적용가능한 펌프의 선택 범위를 축소시킬 것이다. 대부분 1차 진공 펌프 (주로 저진공 및 중간 진공 영역에서 작동)는 대기압력까지 배기가 되므로 독립적으로 작동될 수 있다. 2차 펌프 (일반적으로 고진공 및 초고진공 범위에서 작동)는 1차 펌프로 지속적으로 배기하거나 일정 진공 수준을 유지하기 .. 공감수 0 댓글수 0 2020. 10. 29.
  • 터보 분자 펌프 (Turbomolecular pumps, TMPs) 흔히 터보 펌프(Turbo pump)로 부른다. 매우 빠른 회전 로터 (일반적으로 24,000 ~ 90,000rpm)를 사용하여 작동하는 운동 장치이다. 샤프트에 로터/고정자 쌍으로 된 날개가 다수로 붙어 있어서 형태는 다중 블레이드 터빈과 유사하다. 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 안으로 들어오는 기체 분자를 쳐서 그 운동 방향을 폄프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 원리이다.터보펌프는 오일로터리 펌프나 드라이펌프와 같은 1차 펌프가 있어야 동작이 된다. 베어링의 종류에 따라 자기부상베어링, 기계식 베어링, 수동형 자기-기계식 혼합 베어링으로 구분된다. 주로 10^-3 ~ 10^-11 mbar 영역의 진공도 배기를 위해 사용되지만, 주로 주사전자현미경(scanning electron microscope.. 공감수 1 댓글수 0 2020. 10. 26.
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