진공 펌프
비증발성 게터(NEG) 펌프
UHV System
2023. 6. 29. 07:24
비증발성 게터(NEG) 펌프는 다공성 구조의 비증발성 소형 게터 재료로 작동합니다. 질소 또는 산소와 같은 반응성 가스 분자는 수소가 빠르게 확산되는 동안 게터 물질의 표면에 흡착합니다. 비활성기체(noble gas)이나 메탄은 NEG 물질에 의해 펌핑되지 않습니다.
NEG 펌프에는 전기 히터가 포함되어 있습니다. 이 히터는 각 응용 프로그램 내에서 처음 설치 후 또는 포화 후 게터 재료를 가열하는 데 사용됩니다. 가열 단계는 표면에서 반응성 가스 화합물을 제거하고 게터 물질 내부에서 수소를 배출합니다.
가열 단계 사이에 펌프는 전기 에너지를 소비하지 않고 실온에서 작동합니다. UHV에서는 수소가 지배적인 역할을 하며 NEG 펌프는 이를 위한 펌프 속도가 특히 높습니다.
또 다른 큰 장점은 진동이 없다는 것 이고 게터 재료는 탄화수소가 없는 상태에서 작동이 가능하게 하는 지르코늄 합금으로 구성됩니다.
