진공 펌프 작동영역

일반적으로 진공기술에서 압력 범위는 다음과 같이 정의된다. 저진공 (10^-3 ~ 1 mbar); 중진공 (1 ~ 10^-3 mbar); 고진공 (10^-3 ~ 10^-7 mbar); 초고진공 (10^-7 ~ 10^-12 mbar); 극초고진공 (10^-12 mbar 이하) (아래 그림 참조)  

 

진공펌프 작동영역

도달 진공도 외에도 다양한 펌프 기술의 성능한계를 고려하는 것 또한 중요하다. 진공 시스템의 크기에 따라 경제적 관점에서 적용가능한 펌프의 선택 범위를 축소시킬 것이다. 

진공펌프 배기속도

대부분 1차 진공 펌프 (주로 저진공 및 중간 진공 영역에서 작동)는 대기압력까지 배기가 되므로 독립적으로 작동될 수 있다. 2차 펌프 (일반적으로 고진공 및 초고진공 범위에서 작동)는 1차 펌프로 지속적으로 배기하거나 일정 진공 수준을 유지하기 위해 1차 펌프가 반드시 필요로 한다.