뷰포트 (투과창)
뷰포트(투과창이라고도 함)는 다음 용도로 사용됩니다.
• 작업자가 공정을 볼 수 있도록 합니다(스퍼터 증착에서 플라즈마 개시 확인).
• 특정 파장을 사용하여 화학적 또는 물리적 작용 시작(펄스 레이저 증착)
• 공정에서 발생하는 방출을 측정합니다(광 방출 분광법).
• 특정 파장의 영향을 모니터링합니다(엘립소메트리).
첫 번째 적용을 위한 광 디스크는 7056 또는 Kodial과 같은 상용 등급의 완전히 어닐링된 알칼리 붕규산 유리입니다. 다른 응용 분야의 경우 MgF2, 용융 실리카, 석영, 사파이어, 게르마늄 등의 특수 광학 연마 디스크가 사용됩니다. 일반적으로 관심 있는 파장에서 높은 투과율을 보이는 광학 소재를 선택하면 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 투과되지 않는 것은 반사되거나 흡수된다는 점을 명심하십시오(그리고 흡수는 광학 재료를 가열합니다).
Kodial 뷰포트는 350°C까지 반복적인 베이크아웃 싸이클을 견딜 수 있습니다. 그러나 열팽창 응력을 방지하려면 가열 속도가 분당 2~3°를 초과해서는 안 됩니다. 또한, 가열하는 동안 여러 층의 알루미늄 호일로 뷰포트 외부를 덮으면 챔버의 열 복사가 유리를 통해 다시 반사됩니다.
모든 뷰포트는 깨지기 쉬우므로 각별히 주의하여 취급하고 장착해야 합니다. 완전 열처리된 구리 개스킷은 ConFlat® 플랜지 뷰포트를 장착하는 데 자주 사용됩니다. 뷰포트를 밀봉하는 구리 개스킷을 사용하는 경우 볼트를 손으로 조이고 교차 플랜지 조임 패턴을 엄격히 준수하며 특정 볼트를 한 번에 1/8바퀴 이상 회전하지 않는 것이 좋습니다.
보기 영역을 긁지 마십시오. 약한 뷰포트가 파열될 수 있습니다(또는 불리한 압력 조건에서 더 쉽게 폭발할 수 있습니다).
코닝 7056 / 붕규산 유리
• 7056 붕규산염 뷰포트는 일반적으로 관찰에 사용됩니다.
• 이러한 유리 진공 뷰포트 창은 375nm~1900nm 파장 범위에서 90% 이상의 투과율을 제공하며 많은 표준 뷰포트 진공 챔버 어셈블리에 사용됩니다.
• 업계에서 가장 일반적으로 사용되는 진공 뷰포트 창 재료입니다.
분리 가능한 기판 Accu-Sol™ 유리 및/또는 코팅된 용융 실리카
• 분리 가능한 기판 진공 뷰포트는 융합 및/또는 납땜 뷰포트에 대한 경제적인 "대체"입니다.
• 350nm~1500nm 파장 범위에서 90% 이상의 투과율을 보이는 고투과율 유리입니다.
• 탈착식 기판 뷰포트를 통해 유지 관리 및/또는 BBAR 코팅 합성 용융 실리카(석영) 창 옵션을 사용하여 쉽게 접근할 수 있습니다. 사용 가능한 코팅은 UV(290~370nm), Type-A(350~700nm), Type-B(650~1050nm) 및 Type-C(1050~1620nm)에 최적화되어 있습니다. 코팅되지 않은 용융 실리카 뷰포트 유리도 사용할 수 있습니다.
• 업계에서 가장 일반적으로 사용되는 진공 창 재료에 대한 훌륭한 대안입니다.
용융 실리카
• 자외선에 대한 투명성이 뛰어납니다.
• 자외선 등급 소재는 대부분의 응용 분야에 적합하며 185nm 외부 투과율에서 > 80%/cm를 충족하는 것으로 인증되었습니다.
• 심자외선 등급은 Supersil-1®과 동일하며 포함 사양을 제외하면 자외선 등급과 유사합니다.
사파이어
• 사파이어 뷰포트는 90° 크리스탈 방향을 사용하여 구성되며, 여기서 크리스탈 방향은 창 표면과 평행합니다. 사파이어는 서로 다른 축을 따라 측정할 때 실질적으로 다른 물리적, 열적, 유전적, 광학적 특성을 나타내는 합성 육각형 단결정 이방성 재료입니다. 표면 마감이 불량하면 창의 전체 투과 손실이 최대 10%까지 영향을 미칠 수 있습니다. Accu-Glass 사파이어 뷰포트는 50-20 스크래치-DIG로 연마된 평면과 함께 제공됩니다.
납유리/X-Ray 뷰포트 실드
• 납유리 뷰포트 실드는 1.33~8인치 직경의 CF 플랜지에 장착하거나 '피기백'합니다. 납 유리 뷰포트 실드는 유해한 X선 방사선을 차단하는 동시에 진공 시스템을 안전하고 명확하게 볼 수 있도록 하는 데 사용되는 안전 액세서리입니다. 실드는 표준보다 긴 볼트를 사용하여 표준 CF 유형 제로렝쓰 뷰포트의 대기측에 장착됩니다(제로 길이 뷰포트와 긴 패스너는 포함되지 않으며 별도로 구매해야 합니다). '납 함유 유리 뷰포트 실드' 유리 두께는 지정된 2mm 납 차폐 등가를 달성하기 위해 필요에 따라 달라질 수 있습니다. 또한 고객은 특정 응용 분야에 필요한 적절하고 안전한 X선 방사선 차폐 수준을 결정할 책임이 있습니다.