CF Flange
CF Flange는 원래는 ConFlat라고 부르는데 Varian, Inc.의 등록상표이므로 일반적 “CF”를 사용한다. 암수 구분이 없고 동일한 형상의 플랜지가 결합하여 밀봉이 된다. 일반적인 플랜지의 재료는 304L, 316L, 316LN과 같은 오스테나이트계 스테인레스인데 표면이 경화 처리된 알루미늄으로 제작되는 경우도 있다. 연질의 금속이 가스켓으로 사용되는데 주로 무산소동(OFHC)가 많이 사용된다. CF 씰은 대기압에서 <1.3 x 10^-13 mbar까지, 온도 범위 -196 °C ~ 450 °C (재료에 따라 상이함)에서 작동된다.
북미에서는 플랜지 크기는 외경 (O.D.)을 기준으로 부른다. (1.33", 2.75", 4.5", 6", 8 ", 10", 12", 13.25", 14", 16.5" O.D.) 유럽 및 아시아 권역에서는 플랜지에 보어의 공칭 내경 (공칭 I.D.)을 참조하여 명명된다. DN 또는 NW (제조업체에 따라 다름) 접두사가 붙은 숫자(공칭 구멍을 mm 단위로 나타냄)로 나타낸다. (DN16, DN40, DN63, DN100, DN160, DN200, DN250) 명목 지름 DN 16 ~ DN 250의 ISO 3669에 기술되어 있으며 명목 지름 DN 10 ~ DN 400의 ISO/TS 3669-2에 자세히 설명되어 있다.
CF플랜지의 치수는 아래와 같으며, 실제 치수는 제조자마다 조금씩 차가 있다. 기밀면의 표면거칠기(surface roughness)는 1S(최대 높이가 1μ m) 이하가 바람직 하다.
조립하는 동안 볼트는 초기에는 장력을 방지하기 위해 반대방향으로 균일하게 조인다. 이후 무산소동이 초고진공으로 밀폐되어 연결될 때까지 나사를 여러 차례 분배하여 조여야 한다. 베이킹 할 때는 냉각 및 베이킹이 천천히 해야 하고 너무 급격해서는 안 된다. 플랜지 연결부의 온도 차이는 유리 재질을 손상시키거나 누출을 유발할 수 있는 장력이 발생될수 있다.
| 구분 | 사용 토크 [kg.c] | 단계별 토크 [kg.cm] | |||||||
| 알루미늄 | 스테인레스강 | 1회 | 2회 | 3회 | 4회 | 5회 | 6회 | 7회 | |
| M4 | 10~20 | ~ | 손힘 | 10 | 20 | ||||
| M6 | 40~60 | 손힘 | 20 | 40 | 70 | ||||
| M8 | 80~100 | 손힘 | 20 | 40 | 70 | 100 | |||
| M10 | 180~220 | 손힘 | 20 | 40 | 80 | 120 | 160 | 200 | |